[發(fā)明專利]表面改性裝置及表面改性方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011095544.2
• 申請(qǐng)日: 2020-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN112908812A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 井上基弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社沙迪克
• 主分類號(hào): H01J37/04
• 分類號(hào): H01J37/04;H01J37/30;H01J37/305
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種表面改性裝置，包括：圓柱狀的陰極電極，朝向被照射體的照射孔的內(nèi)側(cè)面發(fā)射電子；以及集電極，將自所述陰極電極發(fā)射的電子回收，其特征在于，在所述集電極與所述被照射體之間設(shè)置有絕緣構(gòu)件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面改性裝置，其特征在于，所述集電極為平板狀的平臺(tái)，在所述集電極上配置有所述絕緣構(gòu)件，且在所述絕緣構(gòu)件上配置有所述被照射體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面改性裝置，其特征在于，所述絕緣構(gòu)件為一對(duì)平板狀的構(gòu)件，在所述集電極上空開間隙來配置所述絕緣構(gòu)件，且在所述絕緣構(gòu)件上，以所述間隙與所述被照射體的照射孔連通的方式配置所述被照射體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面改性裝置，其特征在于，所述表面改性裝置包括：移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述集電極移動(dòng)；電子產(chǎn)生用電源，用來對(duì)所述陰極電極施加電壓脈沖；以及控制裝置，控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)及所述電壓脈沖的施加時(shí)序，并且所述控制裝置驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)，將所述陰極電極的前端部插入至所述照射孔，施加所述電壓脈沖而自所述陰極電極進(jìn)行電子的照射。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的表面改性裝置，其特征在于，所述控制裝置反復(fù)進(jìn)行多次如下操作：驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來變更所述陰極電極的前端部與所述被照射體的相對(duì)位置，施加所述電壓脈沖，自所述陰極電極進(jìn)行電子的照射。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面改性裝置，其特征在于，所述陰極電極的剖面的直徑為1mm級(jí)別。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面改性裝置，其特征在于，所述陰極電極是以鎢、鈦、銅或黃銅作為材質(zhì)，進(jìn)行機(jī)械加工而形成。

8.一種表面改性方法，包括圓柱狀的陰極電極、將自所述陰極電極發(fā)射的電子回收的集電極、以及設(shè)置于所述集電極與被照射體之間的絕緣構(gòu)件，朝向被照射體的照射孔的內(nèi)側(cè)面發(fā)射電子，其特征在于，

將變更所述陰極電極的前端部與所述被照射體的相對(duì)位置的移動(dòng)步驟、以及施加電壓脈沖而自所述陰極電極進(jìn)行電子的照射的照射步驟反復(fù)進(jìn)行多次，來對(duì)所述內(nèi)側(cè)面整體進(jìn)行改性。