[發明專利]一種原位蒸鍍的弱等離子刻蝕設備

在審

• 申請號: 202011094851.9
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112103168A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 金炯;李存鑫;王福清
• 申請（專利權）人: 浙江賽威科光電科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;C23C14/24
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 張亞娟

1.一種原位蒸鍍的弱等離子刻蝕設備，其特征在于：包括刻蝕腔體(1)、弱等離子放射機構(2)、真空機構、冷阱機構(4)、樣品托(5)以及驅動機構(6)，所述刻蝕腔體(1)連接在拉曼光譜檢測蒸發室下方，所述刻蝕腔體(1)外表面上設有腔門(8)，所述弱等離子放射機構(2)、真空機構以及冷阱機構(4)均與刻蝕腔體(1)相通，所述真空機構和冷阱機構(4)均用于將刻蝕腔體(1)內進行真空，所述樣品托(5)位于刻蝕腔體(1)內，所述樣品托(5)上搭載有靶材，所述驅動機構(6)位于刻蝕腔體(1)的下方，所述驅動機構(6)驅動所述樣品托(5)在豎直方向上運動以使所述樣品托(5)靠近或遠離拉曼光譜檢測蒸發室，所述弱等離子放射機構(2)包括導軌(21)、射頻罩(24)、石英玻璃管(22)以及放氣電磁閥組件(23)，所述導軌(21)設置在機架上，所述石英玻璃管(22)兩端均設有支架(25)，所述石英玻璃管(22)通過兩組支架(25)水平位于導軌(21)上方，所述射頻罩(24)套設在石英玻璃管(22)上，所述射頻罩(24)滑動連接在滑軌上，所述射頻罩(24)內包括有纏繞在石英玻璃管(22)上的射頻繞線(241)以及支撐射頻繞線(241)的支撐板(242)，所述放氣電磁閥組件(23)連接在石英玻璃管(22)一端，所述放氣電磁閥組件(23)與石英玻璃管(22)以及刻蝕腔體(1)均相通且構成一個放射通道，所述放氣電磁閥組件(23)用于將工藝氣體通入石英玻璃管(22)內，所述石英玻璃管(22)與刻蝕腔體(1)之間設有第一插板閥(7)。

2.根據權利要求1所述一種原位蒸鍍的弱等離子刻蝕設備，其特征在于：所述驅動機構(6)包括樣品臺(27)、升降組件(61)以及自轉組件(62)，所述刻蝕腔體(1)底部貫穿，所述樣品臺(27)緊壓在刻蝕腔體(1)底部，所述升降組件(61)包括固定板(611)、螺桿(612)、移動板(613)、以及第一旋轉電機(614)，所述固定板(611)一端固定在樣品臺(27)上，另一端固定連接第一旋轉電機(614)，所述螺桿(612)的一端固定在第一旋轉電機(614)的驅動軸上，另一端轉動連接在樣品臺(27)底部，所述移動板(613)螺紋套設在螺桿(612)上，所述自轉組件(62)包括支板(621)、內軸(623)、軸套(624)、圓盤(626)、第一轉動齒(625)以及第二旋轉電機(622)，所述支板(621)與移動板(613)固定連接，所述第二旋轉電機(622)位于支板(621)底部，所述內軸(623)與第二旋轉電機(622)的驅動軸連接，所述內軸(623)的一端依次穿過樣品臺(27)和圓盤(626)，所述第一轉動齒(625)套設在圓盤(626)上方的內軸(623)上，所述軸套(624)套設在圓盤(626)下方的內軸(623)上，所述軸套(624)一端與圓盤(626)固定連接，另一端通過軸承連接在支板(621)上，所述樣品托(5)包括外殼(51)及加熱組件，所述外殼(51)通過軸承與加熱組件連接，所述加熱組件固定連接在圓盤(626)上，所述外殼(51)底部上套設有第二轉動齒(20)，所述第一轉動齒(625)與第二轉動齒(20)嚙合，所述第一旋轉電機(614)驅動螺桿(612)轉動以使移動板(613)在豎直方向上運動，且支板(621)帶動軸套(624)在豎直方向上以使樣品托(5)靠近或遠離拉曼光譜檢測蒸發室，所述第二旋轉電機(622)驅動內軸(623)轉動以使第一轉動齒(625)轉動，所述第一轉動齒(625)轉動驅動第二轉動齒(20)轉動以使外殼(51)自轉。

3.根據權利要求2所述一種原位蒸鍍的弱等離子刻蝕設備，其特征在于：所述樣品臺(27)上方的軸套(624)上設有外套(28)，所述外套(28)上設有通過定位銷連接的第三轉動齒(627)，所述軸套(624)上還設有與定位銷匹配的滑槽(6241)，所述驅動機構(6)還包括公轉組件(63)，所述公轉組件(63)包括第三旋轉電機(631)以及第四轉動齒(632)，所述第三旋轉電機(631)固定在樣品臺(27)底部，所述第三旋轉電機(631)的驅動軸穿過樣品臺(27)，所述第四轉動齒(632)套設在第三旋轉電機(631)的驅動軸上，所述第四轉動齒(632)與第三轉動齒(627)嚙合，所述第三旋轉電機(631)驅動所述第四轉動齒(632)轉動以使所述第三轉動齒(627)轉動，所述第三轉動齒(627)轉動帶動圓盤(626)轉動以使圓盤(626)上的樣品托(5)以內軸(623)為中心公轉。