[發明專利]超聲波清洗裝置、半導體設備及其控制方法

在審

• 申請號: 202011094695.6
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112387695A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 楊樹國;張虎;張明;林立
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;魏艷新

1.一種超聲波清洗裝置，應用于半導體設備中，所述半導體設備包括清洗槽，其特征在于，所述超聲波清洗裝置包括：超聲波發生模塊、檢測模塊和多個并聯的超聲波換能模塊；

所述超聲波發生模塊分別與供電電源和多個所述超聲波換能模塊連接，用于向每個所述超聲波換能模塊提供驅動信號；

所述超聲波換能模塊用于在所述驅動信號的驅動下發射超聲波；

所述檢測模塊與所述超聲波發生模塊連接，用于檢測流過所述超聲波發生模塊的工作電流，并根據所述工作電流判斷是否存在異常的所述超聲波換能模塊；若是，則發出報警信號，所述報警信號用于提示存在異常的所述超聲波換能模塊。

2.根據權利要求1所述的超聲波清洗裝置，其特征在于，所述檢測模塊包括：電流采集子模塊和判斷子模塊；

所述電流采集子模塊與所述超聲波發生模塊連接，所述電流采集子模塊用于檢測流過所述超聲波發生模塊的所述工作電流；

所述判斷子模塊用于判斷所述工作電流是否處于預設電流范圍之外，若是，則確定存在異常的所述超聲波換能模塊。

3.根據權利要求2所述的超聲波清洗裝置，其特征在于，所述電流采集子模塊包括鉗形電流互感器，所述鉗形電流互感器連接在所述超聲波發生模塊與所述供電電源之間的連接線路上；

所述判斷子模塊包括可編程邏輯控制器。

4.根據權利要求2所述的超聲波清洗裝置，其特征在于，所述超聲波清洗裝置還包括：顯示模塊，所述顯示模塊與所述檢測模塊連接，用于對所述檢測模塊檢測到的所述工作電流的大小進行顯示；和/或，顯示所述報警信號。

5.一種半導體設備，其特征在于，包括清洗槽和如權利要求1至4中任一項所述的超聲波清洗裝置，所述清洗槽包括槽體；

所述超聲波清洗裝置的多個所述超聲波換能模塊設置在所述槽體上，所述超聲波換能模塊用于朝向所述清洗槽中發射超聲波。

6.根據權利要求5所述的半導體設備，其特征在于，所述超聲波換能模塊均設置在所述槽體的底壁上。

7.根據權利要求6所述的半導體設備，其特征在于，所述超聲波換能模塊包括安裝殼和設置在所述安裝殼中的震子，所述超聲波換能模塊的安裝殼上設置有內螺紋，在所述槽體的底壁上設置有與所述內螺紋相匹配的外螺紋，所述震子用于發射超聲波并驅動所述槽體的底壁震動。

8.根據權利要求5所述的半導體設備，其特征在于，所述半導體設備還包括機械臂，所述機械臂用于將待清洗件放入所述清洗槽中；

所述機械臂與所述檢測模塊連接，所述檢測模塊還用于當判斷出多個所述超聲波換能模塊中存在異常的所述超聲波換能模塊時，控制所述機械臂停止將新的待清洗件放入所述清洗槽中。

9.一種半導體設備的控制方法，所述半導體設備為權利要求5至8中任一項所述的半導體設備，其特征在于，所述控制方法包括：

檢測流過所述超聲波發生模塊的工作電流；

根據所述工作電流判斷是否存在異常的所述超聲波換能模塊；若是，則發出報警信號，所述報警信號用于提示存在異常的所述超聲波換能模塊。

10.根據權利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述根據所述工作電流判斷是否存在異常的所述超聲波換能模塊，包括：

判斷所述工作電流是否處于預設電流范圍之外，若是，則確定存在異常的所述超聲波換能模塊。