[發(fā)明專利]一種紫外線發(fā)射器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011094260.1
• 申請(qǐng)日: 2020-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN112103172A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭方準(zhǔn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大連齊維科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H01J49/16
• 分類號(hào): H01J49/16;H01J49/04;H01J49/02
• 代理公司: 大連瑞博晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 21259
• 代理人: 孫麗

本發(fā)明涉及超高真空紫外線發(fā)射設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種紫外線發(fā)射器。該發(fā)射器的帶放電毛細(xì)管的陽極組件中放電毛細(xì)管的一端插接并固定于電極內(nèi)，電極固定設(shè)于陽極法蘭上，放電毛細(xì)管的另一端穿過陽極法蘭，陽極法蘭上設(shè)有放電氣體的進(jìn)氣孔，進(jìn)氣孔連通進(jìn)氣組件；帶引導(dǎo)毛細(xì)管的陰極組件中引導(dǎo)毛細(xì)管的一端穿過陰極件，陰極件固定安裝于陰極法蘭內(nèi)，引導(dǎo)毛細(xì)管上開設(shè)有抽氣口，抽氣口連通所述差分抽組件；本發(fā)明提供的紫外線發(fā)射器，采用放電毛細(xì)管與氦氣配合，通過電極進(jìn)行放電，可有效產(chǎn)生紫外線，產(chǎn)生的紫外線光通過引導(dǎo)毛細(xì)管引出，引導(dǎo)毛細(xì)管起到對(duì)紫外線光束聚焦和導(dǎo)向的作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及超高真空紫外線發(fā)射設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種紫外線發(fā)射器。

背景技術(shù)

瑞典科學(xué)家凱?西格巴恩于1958年成功研制出世界上第一臺(tái)光電子能譜儀，可以分析物質(zhì)的構(gòu)成元素、化學(xué)狀態(tài)和價(jià)電子帶構(gòu)造。激發(fā)光電子最常用的光源是氦紫外線光源，通過氦氣的放電而發(fā)射的紫外線中有多種能量，其中以He Iα線（58.43nm，21.22eV）為主。He Iα光照射樣品，表面原子的價(jià)電子被激發(fā)成光電子放出，進(jìn)入能量分析器。掃描光電子能量，即可獲得包括費(fèi)米能級(jí)在內(nèi)的價(jià)電子信息，掃描光電子發(fā)射角度，可獲得價(jià)電子帶的構(gòu)造，從而可知價(jià)電子的狀態(tài)。

中國(guó)專利[CN201611040344.0]公開了一種放電氣體輔助的無窗射頻燈質(zhì)譜電離源，該方案的無窗射頻燈腔體置于電離源腔體上方，放電玻璃管上端密閉、下端開口，于電離源腔體頂部壁面開有通孔，放電玻璃管的開口端插接于頂部壁面通孔內(nèi)，放電玻璃管與通孔內(nèi)壁面密閉連接，于放電玻璃管中上部的外壁上纏繞有線圈，放電氣體經(jīng)毛細(xì)管與放電玻璃管內(nèi)部相連通；纏繞有線圈的放電玻璃管置于一無窗射頻燈腔體內(nèi)；纏繞有線圈的放電玻璃管內(nèi)構(gòu)成紫外光線產(chǎn)生區(qū)，電荷轉(zhuǎn)移反應(yīng)電離所需的紫外光線在紫外光線產(chǎn)生區(qū)產(chǎn)生。但此裝置中產(chǎn)生的紫外光線與放電氣體一起進(jìn)入電離源腔體內(nèi)，通過紫外光線照射到樣品分子發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移反應(yīng)，在反應(yīng)過程中，放電氣體會(huì)影響樣品分子的檢測(cè)結(jié)果，并且無法實(shí)現(xiàn)紫外線光的有效產(chǎn)生、聚焦、引導(dǎo)及調(diào)整。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述產(chǎn)生的紫外光線與放電氣體一起進(jìn)入電離源腔體內(nèi)，放電氣體會(huì)影響樣品分子的檢測(cè)結(jié)果，并且無法實(shí)現(xiàn)紫外線光的有效產(chǎn)生、聚焦、引導(dǎo)及調(diào)整的問題，本發(fā)明提供一種紫外線發(fā)射器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可在超高真空狀態(tài)下有效工作。

本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是：一種紫外線發(fā)射器，包括帶放電毛細(xì)管的陽極組件、帶引導(dǎo)毛細(xì)管的陰極組件及差分抽組件；

所述帶放電毛細(xì)管的陽極組件中放電毛細(xì)管的一端插接并固定于電極內(nèi)，所述電極固定設(shè)于陽極法蘭上，所述放電毛細(xì)管的另一端穿過陽極法蘭，所述陽極法蘭上設(shè)有放電氣體的進(jìn)氣孔，所述進(jìn)氣孔連通進(jìn)氣組件；

所述帶引導(dǎo)毛細(xì)管的陰極組件中引導(dǎo)毛細(xì)管的一端穿過陰極件，所述陰極件固定安裝于陰極法蘭內(nèi)，所述引導(dǎo)毛細(xì)管的另一端為紫外線出口，所述引導(dǎo)毛細(xì)管上開設(shè)有抽氣口，所述抽氣口連通差分抽組件；

所述陽極法蘭與陰極法蘭密封連接，在陽極法蘭與陰極法蘭之間形成真空腔，放電毛細(xì)管的一端與引導(dǎo)毛細(xì)管的一端分別置于真空腔內(nèi)，所述真空腔與陽極法蘭上的進(jìn)氣孔連通。

進(jìn)一步的，還包括調(diào)整組件，所述調(diào)整組件包括帶波紋管的外管，所述帶波紋管的外管兩端分別固定連接陰極法蘭與連接法蘭，所述陽極法蘭、陰極法蘭與連接法蘭上開設(shè)有至少三組同軸的螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋連接調(diào)節(jié)螺桿，所述調(diào)節(jié)螺桿的一端固定設(shè)有調(diào)節(jié)螺母。

進(jìn)一步的，所述差分抽組件包括抽氣管，所述抽氣管的一端設(shè)有抽氣法蘭，所述抽氣管的另一端與帶波紋管的外管固定連接，所述抽氣管與抽氣口連通。