[發(fā)明專利]基于聲表面波的濕度傳感器及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011092166.2
• 申請日: 2020-10-13
• 公開（公告）號: CN112213384A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發(fā)明（設計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類號: G01N29/02
• 分類號: G01N29/02;G01N29/036
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于聲表面波的濕度傳感器，其特征在于，所述濕度傳感器包括：基底、第一電極、第二電極和吸附部；所述第一電極、所述第二電極和所述吸附部設置在所述基底的同一側，其中，所述第一電極和所述第二電極設置在所述基底一側的兩端，所述吸附部設置在所述第一電極和所述第二電極之間，所述基底的材料為壓電材料，所述吸附部的材料是濕敏材料。

2.根據權利要求1所述的基于聲表面波的濕度傳感器，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極的材料為銀、銅、金、鋁中的至少一種。

3.根據權利要求2所述的基于聲表面波的濕度傳感器，其特征在于，所述吸附部的材料為Fe₃O₄、Fe₂O₃、Cr₂O₃中的至少一種。

4.根據權利要求3所述的基于聲表面波的濕度傳感器，其特征在于，所述基底的材料為石英晶體和鈮酸鋰晶體中的任意一種。

5.根據權利要求4所述的基于聲表面波的濕度傳感器，其特征在于，所述吸附部的形狀為片狀薄膜。

6.根據權利要求5所述的基于聲表面波的濕度傳感器，其特征在于，所述吸附部中片狀薄膜的數量為多個，多個所述片狀薄膜的形狀為長條形，且周期性排列。

7.根據權利要求6所述的基于聲表面波的濕度傳感器，其特征在于，多個長條形的所述片狀薄膜的長邊與所述第一電極和所述第二電極的連接線垂直。

8.根據權利要求7所述的基于聲表面波的濕度傳感器，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極為叉指電極。

9.一種基于聲表面波的濕度傳感系統(tǒng)，其特征在于，所述濕度傳感系統(tǒng)包括：計算機和權利要求1-8任意一項所述的濕度傳感器，所述計算機與所述聲表面波傳感器電連接，所述計算機用于根據待測濕度與聲表面波頻率的對應關系，得到待測濕度。