[發(fā)明專利]一種薄膜熱電材料性能參數(shù)測(cè)試裝置、方法及系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011091786.4 | 申請(qǐng)日: | 2020-10-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN114354678A | 公開(公告)日: | 2022-04-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 狄重安;金文龍;趙文瑞;鄒業(yè);張鳳嬌;孟青;代小娟;朱道本 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所 |
| 主分類號(hào): | G01N25/20 | 分類號(hào): | G01N25/20;G01N27/04 |
| 代理公司: | 北京天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11386 | 代理人: | 姚東華 |
| 地址: | 100190 北京市海*** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 薄膜 熱電 材料 性能參數(shù) 測(cè)試 裝置 方法 系統(tǒng) | ||
1.一種薄膜熱電材料性能參數(shù)測(cè)試裝置,其特征在于,包括:自下而上設(shè)置的基礎(chǔ)溫度控制單元和溫度差控制單元;
所述基礎(chǔ)溫度控制單元用于控制待測(cè)樣品所處的基礎(chǔ)溫度;
所述溫度差控制單元用于控制所述待測(cè)樣品兩端的溫度差;
所述溫度差控制單元包括待測(cè)樣品承載部,所述待測(cè)樣品承載部用于承載所述待測(cè)樣品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述裝置,其特征在于,
所述裝置還包括:緩沖層;
所述緩沖層設(shè)置在所述溫度差控制單元和所述基礎(chǔ)溫度控制單元之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述裝置,其特征在于,
所述基礎(chǔ)溫度控制單元包括:電加熱塊和液氮管路;
所述電加熱塊用于加熱所述待測(cè)樣品;
所述液氮管路用于提供室溫至液氮溫度區(qū)間的基礎(chǔ)測(cè)試溫度或快速冷卻加熱后的待測(cè)樣品;
所述液氮管路設(shè)置于所述電加熱塊下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述裝置,其特征在于,
所述電加熱塊上設(shè)置有檢測(cè)孔,所述檢測(cè)孔用于安裝電加熱源和測(cè)溫元件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4所述裝置,其特征在于,
所述溫度差控制單元還包括:加熱部;
所述加熱部用于控制所述待測(cè)樣品兩端的溫度差待測(cè)樣品。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述裝置,其特征在于,
所述加熱部包括:第一加熱塊和第二加熱塊;
第一加熱塊和第二加熱塊之間具有間隙,待測(cè)樣品一端置于所述第一加熱塊上方,另一端置于所述第二加熱塊上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述裝置,其特征在于,
所述待測(cè)樣品承載部,包括:平行設(shè)置的第一樣品槽和第二樣品槽;
所述第一樣品槽兩端分別設(shè)置在所述第一加熱塊和所述第二加熱塊上;所述第二樣品槽兩端分別設(shè)置在所述第一加熱塊和所述第二加熱塊上;
所述第一樣品槽用于承載待測(cè)樣品和基底,所述第二樣品槽用于承載空白基底。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述裝置,其特征在于,所述緩沖層靠近溫度差控制單元的一側(cè)設(shè)有分隔槽,待測(cè)樣品的兩端位于分隔槽的兩側(cè)。
9.一種薄膜熱電材料性能參數(shù)測(cè)試方法,基于權(quán)利要求1-8所述的裝置,其特征在于,包括:
將盛放待測(cè)樣品的基底放置在第一樣品槽中,將空白基底設(shè)置在第二樣品槽中;
利用基礎(chǔ)溫度控制單元將所述第一樣品槽和所述第二樣品槽的溫度提升至設(shè)定溫度;
在所述設(shè)定溫度下,采集所述第一樣品槽對(duì)應(yīng)的電阻測(cè)試數(shù)據(jù)和所述第二樣品槽對(duì)應(yīng)的第一校準(zhǔn)數(shù)據(jù);
根據(jù)所述設(shè)定溫度,利用溫度差控制單元調(diào)整所述第一樣品槽和所述第二樣品槽的溫度差至設(shè)定溫度差;
獲取所述設(shè)定溫度差下所述第一樣品槽對(duì)應(yīng)的塞貝克電壓和所述第二樣品槽對(duì)應(yīng)的第二校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
10.一種薄膜熱電材料性能參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,包括:計(jì)算機(jī)設(shè)備、控制單元和權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的熱電材料性能參數(shù)測(cè)試裝置。
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