[發(fā)明專利]一種滾動軸承耐磨膜層的制備方法

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• 申請日: 2020-10-13
• 公開（公告）號: CN112501554A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設計）人: 葉福興
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/30;C23C14/34
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 王麗

1.一種滾動軸承耐磨膜層的制備方法，其特征在于：采用電子束物理氣相沉積技術在滾動軸承的表面上制備耐磨膜層，其制備工藝步驟如下：

(1)軸承的固定：將軸承經(jīng)過丙酮、超聲波清洗后固定在夾具上，然后放入電子束物理氣相沉積設備的真空室中；

(2)軸承預熱：抽真空室到設定的真空度，開啟電子束對軸承進行預熱，到設定的預熱溫度后停止加熱。

(3)沉積膜層：開啟電子束對一種或兩種靶材進行加熱，并充入反應氣體，將一種或兩種靶材物質濺射沉積到軸承表面上，膜層達到設定厚度后關閉電子束。

(4)軸承冷卻：在真空室內冷卻后取出得到鍍有耐磨膜層的軸承。

2.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于：耐磨膜層由耐磨材料和自潤滑材料組成，其中耐磨材料的化學成分為氮化鈦、氮化鉻、碳氮化鈦、碳氮鋁鈦的氮化物、碳氮化物的一種或幾種組成，自潤滑材料由二硫化鉬、二硫化鎢、類金剛石的一種或幾種組成。

3.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于：耐磨膜層，其微觀結構為多層結構。

4.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于：耐磨膜層，真空室的真空度為1×10^-4Pa至1×10^-5Pa。

5.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于：耐磨膜層，軸承的預熱溫度為100-500℃。

6.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于：耐磨膜層，其總厚度為1-10微米。