[發明專利]一種靶材的清洗方法

在審

• 申請號: 202011089333.8
• 申請日: 2020-10-13
• 公開（公告）號: CN112452946A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 文宏福;郭文明
• 申請（專利權）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司;韶關市歐萊高新材料有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 李少歡

本發明公開了一種靶材的清洗方法，干冰噴槍組與清潔臺相對移動，使干冰噴槍全面覆蓋靶材清潔。一種靶材的清洗方法，通過本發明的清洗設備使用干冰對靶材進行清潔，實現全面覆蓋靶材清潔，縮短清洗時間，有效去除靶材氧化物。

技術領域

本發明涉及靶材清洗的技術領域，尤其是涉及一種靶材的清洗方法。

背景技術

在濺射鍍膜過程中，靶材的清潔度對濺射所形成的鍍膜質量、產品良品率以及生產成本而言非常重要。由于靶材表面潔凈度不高，在靶材濺射表面積累從幾微米到幾毫米大小的黑色氧化物，一般稱之為結瘤。結瘤具有絕緣性，結瘤量增加，在濺射過程中多引發異常放電，使鍍膜出現粒狀物，影響鍍膜質量，降低產品良品率。因此，在靶材生產過程中，為了保證靶材具有足夠的清潔度，在包裝前需要對靶材進行充分的清潔。

目前靶材清洗受限于化學品清洗，化學品清洗對人體存在危害，環境污染大。清洗使用的化學品具有易燃性，容易造成生產安全事故，危險性高。目前一般通過人工采用化學清潔品對靶材進行清洗，清洗擦拭力度不均勻，清洗覆蓋不全面，清洗合格率低。由于靶材的材質易氧化，當清潔時間過長，使靶材在清洗過程中出現輕微氧化，同時，靶材在生產過程中也容易發生輕微氧化，人工使用化學品對形成的輕微氧化物無法清洗干凈，需要對靶材進行重新研磨后再進行人工清潔，人工清洗不全面，清潔效率低。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明的目的是提供一種靶材的清洗方法，清洗力度均勻，清洗覆蓋全面，清洗效率高，防止清洗過程靶材氧化而返工，提升靶材清洗合格率。

為了實現上述目的，本發明所采用的技術方案是：一種靶材的清洗方法，通過使用清洗設備對靶材進行清洗，清洗設備設置有用于放置靶材的清洗臺，在清洗臺的對應上方設置有干冰清潔裝置，包括以下步驟，1)放置步驟，將需要清洗的靶材平放于清洗設備的清洗臺的放置面，干冰清潔裝置設置有干冰噴槍組，干冰噴槍組設置有至少一個干冰噴槍，干冰噴槍的槍口朝向放置面，干冰噴槍組與清潔臺相對移動，靶材的靶面或靶面的相對面為主清洗面，主清洗面朝向所述干冰噴槍的槍口，2)調節設定步驟，清洗設備設置有控制部，所述控制部設置干冰噴槍的噴射參數，通過所述控制部設置所述干冰噴槍組或所述清潔臺的相對移動的行程，當干冰噴槍組與清潔臺之間相對移動的方向為靶材的長度方向時，則干冰噴槍組或清潔臺的相對移動的行程大于等于靶材的長度，根據靶材的寬度設置干冰噴槍的數量，干冰噴槍組的噴射范圍覆蓋靶材的寬度；當干冰噴槍組與清潔臺相對移動的方向為靶材的寬度方向時，則干冰噴槍組或清潔臺的相對移動的行程大于等于靶材的寬度，根據靶材的長度設置干冰噴槍的數量，干冰噴槍組的噴射范圍覆蓋靶材的長度；3)干冰清洗步驟，啟動清洗設備，干冰噴槍組與清潔臺相對移動，使干冰噴槍從靶材的一側移動至靶材的另一側，干冰噴槍移動的同時對靶材的主清洗面進行干冰噴射，干冰噴槍噴射的干冰撞擊靶材表面，使靶材表面的臟污脫落，4)翻轉清洗步驟，將已清潔的主清洗面的相對一面翻轉并朝向干冰噴槍槍口，重復3)干冰清洗步驟，使整個靶材清洗過程控制在45分鐘內完成清洗。

進一步的技術方案中，在所述2)調節噴槍參數步驟中，所述干冰噴槍的噴射參數包括噴射流量控制在大于等于3.5kg/h，氣壓流量設置0.8～1m³/min，噴射壓力設置在4～4.5kgf/cm²，干冰的溫度在-78.5℃以下，通過控制部設置干冰噴槍組與清潔臺相對勻速移動，將干冰噴槍組與清潔臺的相對移動速度控制在300mm/min至550mm/min，將安裝于所述干冰噴槍組兩端的干冰噴槍的槍口朝向所述靶材的側面，在所述4)翻轉清洗步驟中，將整個所述靶材清洗過程控制在20分鐘內完成。

進一步的技術方案中，在所述步驟3)干冰清洗步驟中，所述臟污包括所述靶材表面的氧化物。