[發明專利]一種半導體器件檢測方法、裝置、智能終端及存儲介質

在審

• 申請號: 202011084992.2
• 申請日: 2020-10-12
• 公開（公告）號: CN112184689A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 羅建華
• 申請（專利權）人: 羅建華
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 朱陽波

1.一種半導體器件檢測方法，其特征在于，所述方法包括：

獲取半導體器件的彩色圖像；

對所述彩色圖像進行處理，獲得至少兩個不同顏色通道的目標圖像；

基于各所述目標圖像進行圖像特征分析并與預設的特征檢測標準進行對比及判斷，結合各所述目標圖像的判斷結果獲得所述半導體器件的檢測結果；

輸出所述檢測結果。

2.根據權利要求1所述的半導體器件檢測方法，其特征在于，所述對所述彩色圖像進行處理，獲得至少兩個不同顏色通道的目標圖像，包括：

對所述彩色圖像進行矩陣變換，獲得圖像矩陣；

對所述圖像矩陣進行不同顏色的通道劃分，獲得至少兩個不同顏色通道的通道圖像；

分別對所述通道圖像進行二值化處理，獲得至少兩個不同顏色通道的目標圖像。

3.根據權利要求2所述的半導體器件檢測方法，其特征在于，所述對所述圖像矩陣進行不同顏色的通道劃分，獲得至少兩個不同顏色的通道圖像，包括：

基于RGB色彩模式對所述圖像矩陣進行紅色通道、綠色通道以及藍色通道的劃分；

分別獲得所述半導體器件在紅色通道、綠色通道以及藍色通道的通道圖像。

4.根據權利要求1至3任一項所述的半導體器件檢測方法，其特征在于，所述基于各所述目標圖像進行圖像特征分析并與預設的特征檢測標準進行對比及判斷，結合各所述目標圖像的判斷結果獲得所述半導體器件的檢測結果，包括：

分別對各所述目標圖像進行圖像特征分析，獲得各所述目標圖像的檢測特征；

分別基于所述檢測特征與預設的特征檢測標準判斷各所述目標圖像中的目標缺陷及缺陷位置，其中，所述目標缺陷包括所有與所述預設的特征檢測標準的差異值大于預設的差異閾值的檢測特征；

根據所有所述目標圖像中的目標缺陷及缺陷位置獲得所述半導體器件的所有缺陷，作為所述半導體器件的檢測結果。

5.根據權利要求4所述的半導體器件檢測方法，其特征在于，所述輸出所述檢測結果包括：

當所述半導體器件的檢測結果表明所述半導體器件存在缺陷時，輸出所述半導體器件的缺陷及對應的缺陷位置，并發送處理提示。

6.一種半導體器件檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：

圖像獲取模塊，用于獲取半導體器件的彩色圖像；

圖像處理模塊，用于對所述彩色圖像進行處理，獲得至少兩個不同顏色通道的目標圖像；

特征分析模塊，用于基于各所述目標圖像進行圖像特征分析并與預設的特征檢測標準進行對比及判斷，結合各所述目標圖像的判斷結果獲得所述半導體器件的檢測結果；

結果輸出模塊，用于輸出所述檢測結果。

7.根據權利要求6所述的半導體器件檢測裝置，其特征在于，所述圖像處理模塊包括：

矩陣變換單元，用于對所述彩色圖像進行矩陣變換，獲得圖像矩陣；

通道劃分單元，用于對所述圖像矩陣進行不同顏色的通道劃分，獲得至少兩個不同顏色通道的通道圖像；

二值化處理單元，用于分別對所述通道圖像進行二值化處理，獲得至少兩個不同顏色通道的目標圖像。

8.根據權利要求6或7所述的半導體器件檢測裝置，其特征在于，所述圖像獲取模塊包括：

光源單元，用于產生光線照射所述半導體器件；

反射光匯聚單元，用于匯聚所述半導體器件的反射光線；

圖像生成單元，用于接收所述反射光線，生成所述半導體器件的彩色圖像。

9.一種智能終端，其特征在于，包括存儲器、處理器以及存儲在上述存儲器上并可在所上述處理器上運行的程序，所述程序被上述處理器執行時實現如權利要求1-5任意一項所述方法的步驟。

10.一種非臨時性計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，上述計算機程序被處理器執行時實現如權利要求1-5任意一項所述的方法的步驟。