[發明專利]一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法

在審

• 申請號: 202011082118.5
• 申請日: 2020-10-12
• 公開（公告）號: CN112229546A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 劉歡;李云鵬;王俊堯;孫功臣;陳星宇;孫琦;王銳;郎天鴻;崔博文
• 申請（專利權）人: 東北電力大學
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G01D5/12;B29C39/10;B29C39/26;B29C33/52
• 代理公司: 長春市吉利專利事務所(普通合伙) 22206
• 代理人: 李曉莉

1.一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法，其特征在于所述方法包括如下步驟：

(1)通過3D打印機使用可溶解材料打出兩個模具，其中一個用于制作放置壓電薄膜及其正極導線的凹槽，另一個用于制作放置壓電薄膜負極導線的凹槽。

(2)用兩根滴管分別抽取50ml的PDMS膠水和10ml的固化劑，將其攪拌均勻。

(3)將攪拌均勻的混合劑倒入兩個模具直到模具被完全填滿；將兩個模具放入真空干燥箱內，先對其進行抽真空處理，一共五次，每次五分鐘；之后對其進行干燥處理。

(4)將已烘干混合劑的兩個模具取出，將其放入去離子水中，直到由可溶解材料打印出的模具完全溶解，取出兩塊帶有裝配導線和PVDF凹槽的PDMS薄膜。

(5)將導線與PVDF分別放進對應的凹槽內；放置完成后，將兩塊帶有導線和PVDF的PDMS薄膜進行對準，確保每根負極導線與3塊PVDF連通。

(6)最后，通過等離子體鍵合機鍵合。

2.根據權利要求1所述的一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法，其特征在于，所述的模具材料為聚乙烯醇，放入去離子水中可自行溶解。

3.根據權利要求1所述的一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法，其特征在于，將已倒入PDMS膠狀物的兩個模具放入真空干燥箱內進行干燥處理，加熱溫度為80°，加熱時間1小時。

4.根據權利要求1所述的一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法，其特征在于，將已被干燥處理的模具和PDMS放入去離子水中，直到聚乙烯醇完全溶解。

5.根據權利要求1所述的一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法，其特征在于，將帶有PDMS膜的模具完全溶解后，將PVDF膜放入正極PDMS膜的正方形凹槽內，將正極導線分別放入對應的凹槽內。

6.根據權利要求1所述的一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法，其特征在于，將3根負極導線分別放入負極PDMS膜中對應的凹槽內。

7.根據權利要求1所述的一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法，其特征在于，將已經放置好PVDF膜和正極導線的正極PDMS膜和已放置好負極導線的負極PDMS膜進行對準，確保每根負極導線對應3塊PVDF膜。

8.根據權利要求1所述的一種柔性壓電三維傳感陣列的制作方法，其特征在于，將已對準的兩塊模具通過等離子體鍵合機進行鍵合。