[發明專利]一種防止堵塞的蒸鍍設備

在審

• 申請號: 202011081461.8
• 申請日: 2020-10-12
• 公開（公告）號: CN112111709A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 喬元武
• 申請（專利權）人: 山東海耀電子科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 潘劍敏

本發明涉及一種蒸鍍設備，更具體的說是一種防止堵塞的蒸鍍設備，包括蒸鍍箱機構、真空防堵機構、清淤機構，設備能夠進行夾緊基片并進行蒸鍍，設備能夠過濾，設備能夠便于清理濾網，設備能夠清理的徹底，所述的蒸鍍箱機構與真空防堵機構相連，真空防堵機構與清淤機構相連。

技術領域

本發明涉及一種蒸鍍設備，更具體的說是一種防止堵塞的蒸鍍設備。

背景技術

在蒸鍍的過程中，真空泵與蒸鍍空間的連接處常常會設置一層濾網，傳統的固定濾網容易發生堵塞，且不易更換、清理，所以設計了這種防止堵塞的蒸鍍設備。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種防止堵塞的蒸鍍設備，設備能夠進行夾緊基片并進行蒸鍍，設備能夠過濾，設備能夠便于清理濾網，設備能夠清理的徹底。

為解決上述技術問題，本發明涉及一種蒸鍍設備，更具體的說是一種防止堵塞的蒸鍍設備，包括蒸鍍箱機構、真空防堵機構、清淤機構，設備能夠進行夾緊基片并進行蒸鍍，設備能夠過濾，設備能夠便于清理濾網，設備能夠清理的徹底。

所述的蒸鍍箱機構與真空防堵機構相連，真空防堵機構與清淤機構相連。

作為本技術方案的進一步優化，本發明一種防止堵塞的蒸鍍設備所述的蒸鍍箱機構包括帶支腿座、鉗鍋接線柱、蒸鍍箱本體、閘門、階梯槽、限位桿、彈簧、光孔、階梯滑動座、帶限位頭方柱、帶圓孔固定座、方孔、帶限位柱滑動塊、彈簧、聯軸器、伺服電機、連接彎管、鉗鍋、雙向絲杠、夾緊座、卡槽、防偏柱，清淤桿與蒸鍍箱本體相連，鉗鍋接線柱與蒸鍍箱本體相連，閘門與蒸鍍箱本體相鉸接，閘門上設有階梯槽，階梯槽與階梯滑動座滑動連接，階梯滑動座上設有光孔，光孔與限位桿滑動連接，限位桿設置在階梯槽內并與閘門相連，彈簧套在限位桿上，彈簧兩端抵在階梯滑動座、閘門上，階梯滑動座與帶限位頭方柱相連，帶限位頭方柱與方孔滑動連接，方孔設置在帶限位柱滑動塊上，帶限位柱滑動塊與帶圓孔固定座滑動連接，帶圓孔固定座設置在蒸鍍箱本體上，彈簧套在帶限位頭方柱上，彈簧抵在帶限位柱滑動塊、帶限位頭方柱上，雙向絲杠與伺服電機通過聯軸器相連，雙向絲杠與蒸鍍箱本體的連接方式為軸承連接，連接彎管與蒸鍍箱本體相連且相連通，鉗鍋與鉗鍋接線柱相連，雙向絲杠與夾緊座螺紋連接，夾緊座上設有卡槽，防偏柱與夾緊座滑動連接，防偏柱與蒸鍍箱本體相連。

作為本技術方案的進一步優化，本發明一種防止堵塞的蒸鍍設備所述的真空防堵機構包括基座、真空泵、帶孔彎臂、液壓缸、帶孔支撐、連接管A、圓筒、帶法蘭連接管、帶支腿異形座、帶內螺紋蓋、帶法蘭管A、出風管、風箱、聯軸器I、風輪電機、連接風管、清理出口、方孔I、帶內螺紋蓋I、帶中空腔內活動座、內活動槽、彈簧A、限位柱、限位柱配合孔、帶限位孔活動濾板、連通口、液壓桿I、帶軸風輪、備用濾孔，基座與帶支腿座相連，基座與真空泵相連，真空泵與連接管A相連，連接管A與帶法蘭連接管相連，帶法蘭連接管與帶支腿異形座相連，帶孔彎臂與帶支腿異形座相連，帶孔彎臂與液壓缸相連，液壓缸與帶支腿異形座相連，帶內螺紋蓋與帶支腿異形座螺紋連接，帶法蘭管A與帶支腿異形座相連，帶法蘭管A與帶法蘭連接管同軸心，帶法蘭管A與連接彎管相連，出風管與風箱相連且相連通，風輪電機與帶軸風輪通過聯軸器I相連，帶軸風輪與風箱的連接方式為軸承連接，風箱與基座相連，風箱與連接風管相連且相連通，連接風管與清理出口相連且相連通，清理出口與帶支腿異形座相連，帶支腿異形座與基座相連，方孔I設置在圓筒上，帶內螺紋蓋I與帶支腿異形座螺紋連接，帶中空腔內活動座與內活動槽滑動連接，內活動槽分別與圓筒、帶法蘭連接管、帶法蘭管A、清理出口相連通，帶中空腔內活動座內設有限位柱，限位柱與帶限位孔活動濾板滑動連接，彈簧A套在限位柱上，彈簧A抵在帶限位孔活動濾板、帶中空腔內活動座上，連通口設置在帶中空腔內活動座上，液壓桿I與液壓缸相連，帶支腿異形座滑動連接，液壓桿I與帶中空腔內活動座相連，備用濾孔設置在帶中空腔內活動座上。