[發明專利]用于強制和測量設備的模式切換的魯棒架構

有效

• 申請號: 202011079806.6
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN112650349B
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: A·K·辛格;C·C·麥可金
• 申請（專利權）人: 亞德諾半導體國際無限責任公司
• 主分類號: G05F1/575
• 分類號: G05F1/575;G05F1/46;G05F1/565;G05B13/04;G01R1/30;G01R1/20;H02M1/32;H02M1/34;H02M3/156
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 郭萬方

本公開涉及用于強制和測量設備的模式切換的魯棒架構。公開了一種穩定技術，該穩定技術在模式轉換期間抑制或抑制自動測試設備(ATE)上的毛刺行為。可調節穩定電路可以與強制電壓電路或強制電流電路中的至少一個耦合，以迫使電壓或電流流向被測設備(DUT)。可調節穩定電路可以響應于電流鉗或電壓鉗中的至少一個處于有源鉗位模式而可調節地配置。以這種方式，可以減少或抑制與模式改變相關的不希望的毛刺行為。

技術領域

本公開涉及用于將電壓或電流強制到被測設備(DUT)的系統和方法，更具體地，涉及一種用于強制和穩定輸送到DUT的電壓或電流的方法。

背景技術

當測試電子組件(例如集成電路或其他類似的半導體設備)時，可以將被測設備(DUT)(例如DUT的引腳)放置在硬件中，以在DUT和包含自動測試設備(ATE)的電路之間提供接口。通常，ATE電路可用于提供要施加到DUT的激勵(例如電壓或電流)，例如施加到DUT的單個端子或多個端子(例如，引腳)。這種自動測試設備允許連接系統對DUT執行測量或診斷DUT中的故障，例如通過監視對這種刺激的響應。

發明內容

本公開的一個方面涉及一種測試系統，用于強制將電壓或電流傳遞到輸出節點以耦合到被測設備(DUT)，并測量DUT上的另一個電壓或電流，該系統包括：強制電壓電路，包括或耦合到電壓反饋路徑和電流鉗；強制電流電路，包括或耦合到電流反饋路徑和電壓鉗；和可調節穩定電路，耦合到所述強制電壓電路或所述強制電流電路中的至少一個，所述穩定電路響應于所述電流鉗或電壓鉗中的至少一個是否以有源鉗位模式工作而可調節地配置。

本公開的另一個方面涉及一種測試系統，用于強制將電壓或電流傳遞到輸出節點以耦合到被測設備(DUT)，并測量DUT上的另一個電壓或電流，該系統包括:強制電壓電路，包括電壓反饋路徑和電流鉗；強制電流電路，包括電流反饋路徑和電壓鉗；補償網絡；和預充電電路，被配置為初始化所述補償網絡以在工作模式之間進行模式切換所述補償網絡。

本公開的又一個方面涉及一種用于強制將電壓或電流傳遞到輸出節點以耦合到被測設備(DUT)并測量DUT處的另一個電壓或電流的方法，該方法包括：在所述輸出節點處強制電壓或電流之一；和響應于在所述輸出節點處發生電壓鉗還是電流鉗中的至少一種，使用可調節穩定電路來使強制電流或強制電壓中的至少一種穩定。

附圖說明

在不一定按比例繪制的附圖中，相似的數字可以在不同的視圖中描述相似的組件。具有不同字母后綴的相似數字可以表示相似組件的不同實例。附圖通過示例而非限制的方式大體上示出了本文檔中討論的各種實施例。

圖1A示出了示例，該示例可以包括預充電電路、穩定電路以及補償網絡，該補償網絡連接至每引腳參數測量單元(PPMU)或作為其一部分。

圖1B示出了可以包括預充電電路、穩定電路和補償網絡的另一示例，該補償網絡連接或包括為每引腳參數測量單元(PPMU)的一部分。

圖2包括模擬的說明性示例，其示出了在從PPMU的從強制電流模式到強制電壓模式的模式切換期間的被測設備(DUT)的節點處的電壓，而沒有穩定電路和預充電電路。

圖3包括仿真的說明性示例，其示出了在從PPMU的從力電流模式到力電壓模式的模式切換期間被測設備(DUT)的節點處的電壓，并且與圖2的說明性示例相反，該仿真對應于具有穩定電路和預充電電路的PPMU。

圖4示出了示例電路，例如可以耦合到每引腳測量單元(PPMU)或包括為PPMU的一部分的電路，該電路包括力放大器，該力放大器具有連接至力放大器的補償節點的穩定電路。

圖5示出了包括一種技術的示例，該技術諸如用于強制將電壓或電流傳遞至輸出節點(例如以導電方式耦合至被測器件(DUT))并在該DUT測量電壓或電流中的另一個的方法。

具體實施方式