[發(fā)明專(zhuān)利]一種基于MEMS微器件制造的電化學(xué)沉積鍍槽

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011076105.7
• 申請(qǐng)日: 2020-10-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112195495A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王慧穎;謝立東;陳文國(guó);王瑞;孔德劍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 曲靖師范學(xué)院
• 主分類(lèi)號(hào): C25D17/02
• 分類(lèi)號(hào): C25D17/02;C25D17/00;C25D21/18;C25D21/10;C25D21/12;C25D21/04;C25D5/00;C25D7/12
• 代理公司: 云南省曲靖市專(zhuān)利事務(wù)所 53104
• 代理人: 周厚明

1.一種基于MEMS微器件制造的電化學(xué)沉積鍍槽，包括外鍍槽體（1）和內(nèi)鍍槽體（2），其特征在于：外鍍槽體（1）為頂部開(kāi)口的圓柱形腔體，外鍍槽體（1）底部連接有回流管（5），回流管（5）上連接有泵（3），泵（3）上連接有進(jìn)/出液管（4），進(jìn)/出液管（4）上設(shè)有閥門(mén)；內(nèi)鍍槽體（2）為頂部開(kāi)口底部為弧形的圓柱形腔體，內(nèi)鍍槽體（2）直徑小于外鍍槽體（1）直徑，內(nèi)鍍槽體（2）置于外鍍槽體（1）內(nèi)中心，內(nèi)鍍槽體（2）頂部與外鍍槽體（1）頂部密封固定，外鍍槽體（1）內(nèi)壁與內(nèi)鍍槽體（2）外壁形成一密封腔體，外鍍槽體（1）和內(nèi)鍍槽體（2）頂部設(shè)有可開(kāi)啟/關(guān)閉的密封蓋（12），所述密封蓋（12）位于內(nèi)鍍槽體（2）開(kāi)口頂部設(shè)有真空計(jì)（10）和抽真孔（11）；所述內(nèi)鍍槽體（2）底部中心通過(guò)管道與泵（3）連接，內(nèi)鍍槽體（2）內(nèi)設(shè)置有攪拌器槳葉（6）、遮蔽板（7）、陰極板（8）、陽(yáng)極板（14）和振蕩器（15），所述遮蔽板（7）上均布有圓孔；所述內(nèi)鍍槽體（2）上設(shè)有陰極排液口（9）和陽(yáng)極排液口（13）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學(xué)沉積鍍槽，其特征在于：所述攪拌器為磁力攪拌器，攪拌器槳葉（6）通過(guò)十字形支架（16）可水平旋轉(zhuǎn)固定在內(nèi)鍍槽體（2）內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS微器件電鍍的電化學(xué)沉積鍍槽，其特征在于：所述遮蔽板（7）通過(guò)一字形支架（17）豎直固定在內(nèi)鍍槽體（2）中心，遮蔽板（7）位于攪拌器槳葉（6）上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學(xué)沉積鍍槽，其特征在于：所述振蕩器（15）對(duì)稱(chēng)設(shè)置在攪拌器槳葉（6）兩側(cè)內(nèi)鍍槽體（2）內(nèi)壁上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學(xué)沉積鍍槽，其特征在于：所述陰極板（8）和陽(yáng)極板（14）對(duì)稱(chēng)設(shè)置在內(nèi)鍍槽體（2）內(nèi)壁上，陰極板（8）和陽(yáng)極板（14）與遮蔽板（7）板面中心垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS微器件制造的電化學(xué)沉積鍍槽，其特征在于：所述陰極排液口（9）和陽(yáng)極排液口（13）分別位于陰極板（8）和陽(yáng)極板（14）上方。