[發明專利]一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置

在審

• 申請號: 202011075863.7
• 申請日: 2020-10-10
• 公開（公告）號: CN112216637A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 區碧蓮
• 申請（專利權）人: 區碧蓮
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;C23C16/50;C23C16/458
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 肖平安

1.一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置，包括機架(1)，其特征在于：所述機架(1)內側的頂部固定連接有沿機架(1)長度方向分布的移動滑臺(2)，所述移動滑臺(2)的頂部通過定位機構(3)固定安裝有石墨舟(4)，所述機架(1)的左、右兩側且位于移動滑臺(2)中部和后部的上方均通過支架(5)分別固定連接有拆卸滑臺(6)和安裝滑臺(7)，所述拆卸滑臺(6)和安裝滑臺(7)的底部均設置有吸附模組(8)，所述機架(1)的左、右兩側且位于兩個支架(5)之間的內側分別固定設置有上料輸送帶(9)和回收輸送帶(10)，所述上料輸送帶(9)和回收輸送帶(10)的頂部均放置有硅片定位架(11)，且位于上料輸送帶(9)頂部的硅片定位架(11)的內部卡接有多個硅片(12)。

2.根據權利要求1所述的一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置，其特征在于：所述機架(1)包括兩個立板(13)，兩個所述立板(13)相互平行，且兩個立板(13)均沿豎直方向分布，兩個所述立板(13)之間固定連接有多個固定架(14)，多個所述固定架(14)相互平行，兩個所述立板(13)內側的頂部均固定連接有沿水平方向分布的防護板(15)。

3.根據權利要求1所述的一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置，其特征在于：所述移動滑臺(2)、拆卸滑臺(6)以及安裝滑臺(7)結構相同，所述移動滑臺(2)包括槽盒(16)，所述槽盒(16)的前、后兩側均固定連接有擋板(17)，且其中一側的擋板(17)的外側壁上固定安裝有電機(18)，所述電機(18)的輸出端通過絲桿(19)貫穿擋板(17)延伸至槽盒(16)的內部并連接有滑塊(20)，所述滑塊(20)的頂部固定連接有連接板(21)，兩個所述擋板(17)的頂部之間且位于連接板(21)的上方固定連接有蓋板(22)，所述拆卸滑臺(6)和安裝滑臺(7)呈中心對稱分布。

4.根據權利要求1所述的一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置，其特征在于：所述定位機構(3)包括支撐板(23)，所述支撐板(23)沿水平方向分布，所述支撐板(23)頂部前側的中部固定連接有固定板(24)，所述固定板(24)的外側壁上固定安裝有第一液壓桿(25)，所述第一液壓桿(25)的輸出端貫穿固定板(24)延伸至固定板(24)的內側并固定連接有夾持板(26)，所述支撐板(23)頂部的后側通過兩個三腳架(28)固定連接有限位板(29)，所述限位板(29)和固定板(24)均垂直于支撐板(23)。

5.根據權利要求1所述的一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置，其特征在于：所述吸附模組(8)包括安裝板(30)，所述安裝板(30)的底部固定安裝有沿豎直方向分布的第二液壓桿(31)，所述第二液壓桿(31)的輸出端通過安裝架(32)固定安裝有多個安裝片(33)，多個所述安裝片(33)相互平行，且多個安裝片(33)均沿豎直方向分布，所述安裝片(33)的正面固定連接有三個真空吸盤(34)，且三個真空吸盤(34)呈倒三角形分布。

6.根據權利要求1所述的一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置，其特征在于：所述硅片定位架(11)包括兩個相互平行的封板(35)，兩個所述封板(35)之間的左、右兩側均固定連接有側板(36)，兩個所述側板(36)的內側壁上均固定連接有多個沿豎直方向分布的卡槽(37)，且卡槽(37)與硅片(12)的厚度相適配，兩個所述封板(35)之間的底部固定連接有兩個相互平行的支撐架(38)。

7.根據權利要求3所述的一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置，其特征在于：所述電機(18)的輸出端通過聯軸器固定連接有絲桿(19)，所述絲桿(19)的兩端分別通過兩個軸承與兩個擋板(17)轉動連接，所述絲桿(19)貫穿滑塊(20)并與滑塊(20)螺紋連接，所述滑塊(20)與槽盒(16)滑動連接。

8.根據權利要求4所述的一種PECVD石墨舟的自動裝卸片裝置，其特征在于：所述夾持板(26)的背面固定連接有橡膠墊片(27)，所述限位板(29)正面的中部開設有預留槽，所述限位板(29)的兩端分別抵壓在石墨舟(4)背面的左、右兩側。