[發(fā)明專利]一種開封方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011074109.1
• 申請(qǐng)日: 2020-10-09
• 公開（公告）號(hào): CN112366143A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林萬(wàn)建;張順勇;李亨特;朱運(yùn)農(nóng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/56
• 分類號(hào): H01L21/56;H01L27/11551;H01L27/11578
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 李洋;張穎玲

本申請(qǐng)實(shí)施例公開了一種開封方法，所述方法包括：確定目標(biāo)器件，所述目標(biāo)器件上具有目標(biāo)開封區(qū)域以及除所述目標(biāo)開封區(qū)域以外的待包封區(qū)域；采用流動(dòng)型膠粘劑覆蓋所述待包封區(qū)域中的至少部分區(qū)域；固化所述流動(dòng)型膠粘劑以形成第一包封層；通過(guò)開封溶液對(duì)所述目標(biāo)開封區(qū)域進(jìn)行開封。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)實(shí)施例涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種開封方法。

背景技術(shù)

在封裝器件的可靠性檢測(cè)領(lǐng)域，失效分析以及破壞性物理分析是兩種基礎(chǔ)的項(xiàng)目，在這兩種項(xiàng)目中，都需要對(duì)封裝器件進(jìn)行開封以進(jìn)行內(nèi)部檢查。目前，常用開封方法為通過(guò)膠帶覆蓋封裝器件上除開封區(qū)域以外的其他區(qū)域，再通過(guò)腐蝕性溶液對(duì)開封區(qū)域的封裝材料進(jìn)行溶解，由于該開封方法的開封質(zhì)量受限于膠帶的貼合性和覆蓋性，因此導(dǎo)致封裝器件的開封質(zhì)量得不到保障。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請(qǐng)實(shí)施例為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的至少一個(gè)問(wèn)題而提供一種存儲(chǔ)器及其制造方法。

為達(dá)到上述目的，本申請(qǐng)實(shí)施例的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種開封方法，所述方法包括：

確定目標(biāo)器件，所述目標(biāo)器件上具有目標(biāo)開封區(qū)域以及除所述目標(biāo)開封區(qū)域以外的待包封區(qū)域；

采用流動(dòng)型膠粘劑覆蓋所述待包封區(qū)域中的至少部分區(qū)域；

固化所述流動(dòng)型膠粘劑以形成第一包封層；

通過(guò)開封溶液對(duì)所述目標(biāo)開封區(qū)域進(jìn)行開封。

在一種可選的實(shí)施方式中，所述目標(biāo)器件設(shè)置在電路板上，所述目標(biāo)開封區(qū)域位于所述目標(biāo)器件的上表面；所述電路板上具有包括所述目標(biāo)器件在內(nèi)的至少兩個(gè)器件，所述目標(biāo)器件與至少一個(gè)與之相鄰的器件之間圍成縫隙；

所述采用流動(dòng)型膠粘劑覆蓋所述待包封區(qū)域中的至少部分區(qū)域，包括：

在所述縫隙中填充流動(dòng)型膠粘劑，以使所述流動(dòng)型膠粘劑至少覆蓋所述目標(biāo)器件的用于圍成所述縫隙的側(cè)壁。

在一種可選的實(shí)施方式中，所述目標(biāo)器件設(shè)置在電路板上；

所述固化所述流動(dòng)型膠粘劑之后，所述方法還包括：

通過(guò)膠帶覆蓋所述電路板上除所述目標(biāo)開封區(qū)域以外的其他區(qū)域，以形成第二包封層。

在一種可選的實(shí)施方式中，在所述通過(guò)開封溶液對(duì)所述目標(biāo)開封區(qū)域進(jìn)行開封后，所述方法還包括：

去除所述第二包封層，以形成待測(cè)試的目標(biāo)器件；

所述待測(cè)試的目標(biāo)器件上保留有所述第一包封層。

在一種可選的實(shí)施方式中，所述流動(dòng)型膠粘劑包括熱固性樹脂。

在一種可選的實(shí)施方式中，所述采用流動(dòng)型膠粘劑覆蓋所述待包封區(qū)域中的至少部分區(qū)域之前，所述方法還包括：

通過(guò)覆蓋物覆蓋所述目標(biāo)開封區(qū)域。

在一種可選的實(shí)施方式中，所述采用流動(dòng)型膠粘劑覆蓋所述待包封區(qū)域中的至少部分區(qū)域，包括：

采用流動(dòng)型膠粘劑覆蓋所述待包封區(qū)域的全部區(qū)域。

在一種可選的實(shí)施方式中，所述采用流動(dòng)型膠粘劑覆蓋所述待包封區(qū)域中的至少部分區(qū)域，包括：

將所述目標(biāo)器件放置到樣品槽中；

在所述樣品槽中注入流動(dòng)型膠粘劑，直到所述流動(dòng)型膠粘劑漫延至所述覆蓋物的邊緣，以使所述流動(dòng)型膠粘劑覆蓋所述待包封區(qū)域的全部區(qū)域。

在一種可選的實(shí)施方式中，所述樣品槽為透光樣品槽。