[發明專利]位移測量裝置

有效

• 申請號: 202011073288.7
• 申請日: 2020-10-09
• 公開（公告）號: CN112697176B
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 松下昌輝;安達聰
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01D5/249
• 分類號: G01D5/249;G01D5/245;G01B7/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種位移測量裝置，包括：

主標尺；

檢測頭，其以相對于所述主標尺能夠相對位移的方式設置，并且被配置為輸出具有根據相對于所述主標尺的相對位移而改變的相位的周期信號；

解調器，其被配置為將所述周期信號解調為在邊沿處具有相位信息的矩形波刻度信號；以及

相位檢測器，其被配置為在所述邊沿的定時檢測所述刻度信號的相位信息，其中，

所述檢測頭被配置為輸出作為所述周期信號的第一周期信號和第二周期信號，

所述解調器包括：

第一刻度解調器，其被配置為將所述第一周期信號解調為第一刻度信號；以及

第二刻度解調器，其被配置為將所述第二周期信號解調為第二刻度信號，

所述相位檢測器包括：

第一相位檢測器，其被配置為檢測所述第一刻度信號的相位信息；以及

第二相位檢測器，其被配置為檢測所述第二刻度信號的相位信息，所述第一相位檢測器包括：

第一采樣信號生成器，其被配置為在所述第一刻度信號的邊沿的定時輸出第一采樣信號；

第一計數器，其被配置為基于一定間隔的時鐘脈沖對計數值進行計數，并在所述第一采樣信號所指定的定時輸出所述計數值；

第一平均計算執行器，其被配置為計算預定的k1個采樣值的平均值；以及

第一刻度停止命令單元，其被配置為在檢測到所述第一刻度信號的邊沿的數量達到所述k1個的情況下輸出第一刻度檢測停止命令，

所述第二相位檢測器包括：

第二采樣信號生成器，其被配置為在所述第二刻度信號的邊沿的定時輸出第二采樣信號；

第二計數器，其被配置為基于一定間隔的時鐘脈沖對計數值進行計數，并在所述第二采樣信號所指定的定時輸出所述計數值；

第二平均計算執行器，其被配置為計算預定的k2個采樣值的平均值，以及

在從所述第一刻度停止命令單元輸出所述第一刻度檢測停止命令的情況下，所述第一刻度解調器被配置為停止對所述第一刻度信號進行解調，以及所述第一相位檢測器被配置為停止檢測所述第一刻度信號的相位信息，其中，k1和k2是自然數，并且滿足k1k2。

2.根據權利要求1所述的位移測量裝置，其中，

所述檢測頭包括驅動信號生成電路，

所述驅動信號生成電路被配置為生成第一刻度脈沖列信號和第二刻度脈沖列信號，所述第一刻度脈沖列信號用于根據相對于所述主標尺的相對位移來生成所述第一周期信號，以及所述第二刻度脈沖列信號用于根據相對于所述主標尺的相對位置來生成所述第二周期信號，以及

在從所述第一刻度停止命令單元輸出所述第一刻度檢測停止命令的情況下，所述驅動信號生成電路被配置為停止生成所述第一刻度脈沖列信號。

3.根據權利要求2所述的位移測量裝置，其中，

所述驅動信號生成電路包括：

多驅動信號供給電路，其被配置為供給通過將所述第一刻度脈沖列信號和所述第二刻度脈沖列信號進行重疊而獲得的多驅動信號；以及

單驅動信號供給電路，其被配置為供給僅包括所述第二刻度脈沖列信號的單驅動信號，

所述多驅動信號供給電路被配置為供給所述多驅動信號，直到從所述第一刻度停止命令單元輸出所述第一刻度檢測停止命令為止，以及

所述單驅動信號供給電路被配置為在輸出所述第一刻度檢測停止命令之后供給所述單驅動信號。