日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]基于激光誘導的HJT電池的制備方法及HJT電池在審

專利信息
申請號: 202011073252.9 申請日: 2020-10-09
公開(公告)號: CN112382680A 公開(公告)日: 2021-02-19
發明(設計)人: 張小明;田得雨;盛健;林綱正;陳剛 申請(專利權)人: 浙江愛旭太陽能科技有限公司;廣東愛旭科技有限公司;天津愛旭太陽能科技有限公司
主分類號: H01L31/0288 分類號: H01L31/0288;H01L31/0216;H01L31/0747;H01L31/20
代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 代理人: 胡楓;李素蘭
地址: 322009 浙江省*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基于 激光 誘導 hjt 電池 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種基于激光誘導的HJT電池的制備方法,其特征在于,包括:

(1)選用硅片襯底,對其進行制絨和清洗處理;

(2)在硅片的表面通過熱氧化工藝沉積正面SiO2層和背面SiO2層;

(3)在正面SiO2層和背面SiO2層的表面分別沉積N型a-Si:H層及P型a-Si:H層;

(4)利用激光對N型a-Si:H層及P型a-Si:H層進行誘導晶化處理,形成N型nc-Si:H層及P型nc-Si:H層;

(5)在N型nc-Si:H層及P型nc-Si:H層的表面分別形成TCO層;

(6)在TCO層的表面形成正面電極和背面電極,得到成品。

2.如權利要求1所述的HJT電池的制備方法,其特征在于,步驟(2)包括:

在工藝溫度為600-800℃的條件下,通入O2和N2,在硅片的表面形成正面SiO2層和背面SiO2層,所述正面SiO2層和背面SiO2層的厚度為1-5nm。

3.如權利要求1所述的HJT電池的制備方法,其特征在于,步驟(3)包括:

采用PECVD設備在正面SiO2層的表面沉積N型a-Si:H層,所述N型a-Si:H層的厚度為1-10nm,光學帶隙為1.5-2.2eV;

采用PECVD設備在背面SiO2層的表面沉積P型a-Si:H層,所述P型a-Si:H層的厚度為1-10nm,光學帶隙為1.5-2.2eV。

4.如權利要求3所述的HJT電池的制備方法,其特征在于,步驟(3)包括:

所述N型a-Si:H層的沉積條件包括:通入的氣體源為SiH4、H2和PH3,SiH4的流量為1-10SLM,H2的流量為5-50SLM,PH3的流量為1-5SLM,沉積溫度為180-200℃,沉積壓強為50-500Pa;

所述P型a-Si:H層的沉積條件包括:通入的氣體源為SiH4、H2和BH3/B2H6/B(CH3)3,SiH4的流量為1-10SLM,H2的流量為5-50SLM,BH3/B2H6/B(CH3)3的流量為1-5SLM,沉積溫度為140-160℃,沉積壓強為50-500Pa。

5.如權利要求1所述的HJT電池的制備方法,其特征在于,步驟(4)包括:

利用激光對N型a-Si:H層及P型a-Si:H層進行誘導晶化處理,形成N型nc-Si:H層及P型nc-Si:H層,其中,激光的功率為1-15W,激光處理的時間為50-300s,所述N型nc-Si:H層及P型nc-Si:H層的光學帶隙為2.6-2.8eV。

6.如權利要求5所述的HJT電池的制備方法,其特征在于,所述N型a-Si:H層及P型a-Si:H層進行激光誘導晶化后,形成微晶晶粒,所述微晶晶粒嵌入在N型a-Si:H層及P型a-Si:H層中,晶粒尺寸與N型a-Si:H層及P型a-Si:H層的厚度相同,晶粒密度達1018cm-3以上;

所述P型a-Si:H層的暗電導率為0.08-0.1S/cm,所述N型a-Si:H層的暗電導率≥2.0S/cm。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江愛旭太陽能科技有限公司;廣東愛旭科技有限公司;天津愛旭太陽能科技有限公司,未經浙江愛旭太陽能科技有限公司;廣東愛旭科技有限公司;天津愛旭太陽能科技有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202011073252.9/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 国产精品一区二区三区在线看| 欧美精品一区免费| 国产精品剧情一区二区三区| 人人玩人人添人人澡97| 99久久免费精品国产免费高清| 国内久久久| 久久精视频| 国产精品综合久久| 欧美精品粉嫩高潮一区二区| 91久久久久久亚洲精品禁果| 亚洲欧洲日韩av| 欧美精品日韩| 国产精品一二三区视频网站| 欧美精品九九| 91亚洲精品国偷拍| 国产精品一二二区| 欧美一区二区精品久久| 亚洲精品久久久久999中文字幕| 日韩无遮挡免费视频| 久久人91精品久久久久久不卡| 久久九九亚洲| 亚洲国产精品97久久无色| 亚洲乱亚洲乱妇28p| 亚洲国产精品一区二区久久hs| 欧美精品免费一区二区三区 | 亚洲精品久久久久不卡激情文学| 欧美高清视频一区二区三区| 国产日韩欧美精品一区二区 | 日韩午夜电影院| 亚洲精品乱码久久久久久蜜糖图片| 亚洲乱视频| 青苹果av| 欧美日韩国产三区| 国产一卡在线| 大bbw大bbw巨大bbw看看| 国产日韩欧美色图| aaaaa国产欧美一区二区| 国产精品高潮呻吟三区四区 | 精品国产乱码久久久久久久久| 欧美精品久| 高清在线一区二区| 久久九九国产精品| 午夜精品一区二区三区三上悠亚| 国产一区二区三区小说| xxxx在线视频| 中文字幕一区2区3区| 国产一区二区免费电影 | 日韩欧美激情| 亚洲精品乱码久久久久久国产主播| 久久免费视频一区二区| 欧美国产一区二区在线| 欧美午夜一区二区三区精美视频| 国产黄色一区二区三区| 国产另类一区| 色噜噜狠狠色综合中文字幕 | 午夜激情综合网| 午夜av资源| 91精品一区二区在线观看 | 日韩久久精品一区二区三区| 午夜国产一区二区三区四区| 国产精品久久久久久久四虎电影| 免费看大黄毛片全集免费| 国产精品久久久久久久久久久新郎 | 伊人精品一区二区三区| 国产精品剧情一区二区三区| 国产97免费视频| 午夜大片男女免费观看爽爽爽尤物| 日日夜夜亚洲精品| 色乱码一区二区三在线看| 久久99精| 日本大码bbw肉感高潮| 99riav3国产精品视频| 国产综合久久精品| 午夜特级片| 91久久精品国产91久久性色tv| 午夜精品999| 中文字幕日韩精品在线| 午夜激情影院| 久久密av| 日韩中文字幕一区二区在线视频 | 亚洲女人av久久天堂| 一色桃子av大全在线播放| 国产91电影在线观看| 久久网站精品| 亚洲四区在线观看| 男女午夜影院| 国内精品久久久久影院日本| 亚洲国产精品一区二区久久hs| 在线视频不卡一区| 国产伦精品一区二区三区免费下载| 一区二区精品久久| 久久激情综合网| 51区亚洲精品一区二区三区| 国产精品久久久久久久新郎| 国产69精品福利视频| 国产日韩欧美综合在线| 5g影院天天爽入口入口| 免费午夜在线视频| 日本高清h色视频在线观看| 国产一二区在线| 久久精品一二三四| 国产大学生呻吟对白精彩在线| 国产精品白浆一区二区| 国产精品久久91| 亚洲国产一区二区精华液| 国产精品18久久久久久白浆动漫| 国产丝袜一区二区三区免费视频| 黄毛片免费| 狠狠色噜噜狠狠狠狠69| xxxxhd欧美| 久久久久久久亚洲视频| 国产69精品久久久久999天美| 欧美激情精品久久久久久免费| 一区不卡av| 国产精品亚洲一区二区三区| 国产91久| 99国产精品免费| 国产中文字幕91| 欧美国产精品久久| 精品国产品香蕉在线| 亚洲精品无吗| 欧美精品一区二区久久久| 国产精品亚洲一区| 欧美67sexhd| 狠狠色噜噜狠狠狠狠综合久| 久久96国产精品久久99软件| 欧美国产一区二区三区激情无套| 国产1区2| 精品在线观看一区二区| 国产真实一区二区三区| 国产主播啪啪| 欧美日韩精品在线播放| 日韩av中文字幕在线| 国产一区二区在线91| 99久久婷婷国产综合精品电影| 精品中文久久| 国产欧美视频一区二区三区| 国产1区在线观看| 国产一区日韩精品| 免费a一毛片| 国产精品视频一区二区三| 狠狠躁夜夜躁人人爽天天天天97| 欧洲在线一区二区| 国产在线观看免费麻豆| 国产精品视频一区二区三| 亚洲精品乱码久久久久久蜜糖图片| 91麻豆精品国产综合久久久久久| 欧洲精品一区二区三区久久| 野花社区不卡一卡二| 久久精品一二三| 日日夜夜精品免费看 | 亚洲国产美女精品久久久久∴| 国产精品欧美一区二区视频| 午夜激情免费电影| 国产一区二区三区国产| 狠狠色噜噜狠狠狠狠视频| 综合色婷婷一区二区亚洲欧美国产| 日韩中文字幕久久久97都市激情| 国产精品一二三区视频网站| 欧美在线播放一区| 日韩av在线影院| 国产一区在线精品| 午夜爽爽爽男女免费观看| 国产精品久久久综合久尹人久久9| 欧美一区二区三区激情视频| 免费看性生活片| 欧美日韩国产在线一区| 欧美日本一二三区| 亚洲精品人| 91亚洲欧美强伦三区麻豆 | 久久久精品免费看| 少妇自拍一区| 欧美日韩中文字幕一区二区三区| 国产精品99久久久久久宅男| 国产精品一二三区视频网站| 国产欧美精品一区二区三区小说| 中文文精品字幕一区二区| 99久久婷婷国产综合精品电影 | 少妇中文字幕乱码亚洲影视| 亚洲欧美一区二区三区1000| 久久久久久亚洲精品| 欧美一区二区三区激情| 日本边做饭边被躁bd在线看| 国产一区二区三区四| 日本99精品| 国产精品一区二区av麻豆| 91精品国产综合久久国产大片| 97一区二区国产好的精华液| 国产一区二区视频在线| 国产91福利视频| 亚洲国产日韩综合久久精品| 欧美国产一区二区三区激情无套| 午夜av网址| 欧美日韩中文字幕一区| 国产特级淫片免费看| 91精品一区在线观看| 狠狠色狠狠色综合久久第一次| 日本精品一二三区| 国模少妇一区二区三区 | 久久国产欧美一区二区三区免费| 亚洲国产精品入口| 国产日韩欧美三级| 午夜免费网址| 久久第一区| 欧美在线视频一二三区| 精品国产一区二区三区四区四 | 欧美freesex极品少妇| 午夜激情免费电影| 欧美乱大交xxxxx胶衣| 午夜爽爽爽男女免费观看| 亚洲精品日本无v一区| 亚洲欧洲精品一区二区三区不卡| 国产一区二区视频播放| 日本一区二区三区免费在线| aaaaa国产欧美一区二区| 国产亚洲久久| 免费精品一区二区三区视频日产| 一区二区三区国产精华| 亚洲欧美国产中文字幕 | 狠狠综合久久av一区二区老牛| 精品国精品国产自在久不卡| 日本一区二区三区在线视频| 国内久久久| 午夜精品在线播放| 国产人澡人澡澡澡人碰视| 日本黄页在线观看| 日韩欧美视频一区二区| 欧美视频1区| 久久久久久久国产精品视频| 国产69精品久久久久孕妇不能看| 狠狠色很很在鲁视频| 午夜av电影院| 日本一区中文字幕| 日韩av在线播放网址| 性欧美激情日韩精品七区| 窝窝午夜理伦免费影院| 在线亚洲精品| 日韩不卡毛片| 欧美一区二区久久| 三级视频一区| 99日本精品| 国产精品欧美一区二区视频| 狠狠色狠狠色综合系列| 亚洲精品日本久久一区二区三区| 狠狠色狠狠色合久久伊人| 国产69精品福利视频|