[發(fā)明專利]轉(zhuǎn)換關(guān)系的獲取方法、測(cè)量方法及測(cè)量系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011070282.4
• 申請(qǐng)日: 2020-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN112556614B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳魯;呂肅;方一;李青格樂;張嵩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/00
• 分類號(hào): G01B21/00;G01B11/00
• 代理公司: 上海知錦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 高靜

本發(fā)明提供一種轉(zhuǎn)換關(guān)系的獲取方法、測(cè)量方法和測(cè)量系統(tǒng)，其中，轉(zhuǎn)換關(guān)系的獲取方法包括：提供檢測(cè)設(shè)備，所述檢測(cè)設(shè)備具有第一坐標(biāo)系；提供待測(cè)物，所述待測(cè)物具有第二坐標(biāo)系，所述待測(cè)物表面具有多個(gè)特征點(diǎn)，所述特征點(diǎn)在第二坐標(biāo)系下具有特征坐標(biāo)；將所述待測(cè)物放置于所述檢測(cè)設(shè)備；在將所述待測(cè)物放置于所述檢測(cè)設(shè)備之后，通過檢測(cè)設(shè)備對(duì)多個(gè)所述特征點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，獲取特征點(diǎn)在第一坐標(biāo)系下的測(cè)量坐標(biāo)；根據(jù)所述特征坐標(biāo)與所述測(cè)量坐標(biāo)，獲取所述第一坐標(biāo)系與所述第二坐標(biāo)系之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系。所述轉(zhuǎn)換關(guān)系的獲取方法能夠提高獲取速度及轉(zhuǎn)換關(guān)系的精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種測(cè)量方法及其測(cè)量系統(tǒng)，特別是轉(zhuǎn)換關(guān)系的獲取方法、測(cè)量方法及測(cè)量系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，精密加工被用到越來越多的領(lǐng)域；同時(shí)，對(duì)于加工精度也有越來越高的要求。為了滿足加工精度的需求，提高加工樣品的合格率，需要經(jīng)常對(duì)加工過程及加工的產(chǎn)品進(jìn)行關(guān)于形貌畸變的測(cè)試，以確保畸變?cè)诳扇萑谭秶鷥?nèi)。

在精密加工的畸變檢測(cè)應(yīng)用中，經(jīng)常需要對(duì)待測(cè)物的設(shè)定測(cè)量點(diǎn)(例如，在關(guān)鍵位置處)的高度、膜厚或線寬進(jìn)行檢測(cè)。現(xiàn)有技術(shù)通過對(duì)待測(cè)物表面很大區(qū)域范圍進(jìn)行掃描從而實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)點(diǎn)的檢測(cè)。當(dāng)待測(cè)點(diǎn)數(shù)量較少時(shí)，該方法大大降低了檢測(cè)效率。僅對(duì)待測(cè)點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)能夠有效提高檢測(cè)效率，然而在對(duì)特定待測(cè)點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)過程中，需要對(duì)待測(cè)點(diǎn)進(jìn)行精確定位，從而保證檢測(cè)的精度。

現(xiàn)有技術(shù)難以保證對(duì)待測(cè)點(diǎn)的精確定位。

發(fā)明內(nèi)容

為解決以上問題，本發(fā)明提出了一種轉(zhuǎn)換關(guān)系的獲取方法、測(cè)量方法及測(cè)量系統(tǒng)，通過對(duì)待測(cè)物表面特征點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量獲取第一坐標(biāo)系和第二坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換關(guān)系，能夠提高轉(zhuǎn)換關(guān)系的精度。

本發(fā)明的技術(shù)方案提供了一種轉(zhuǎn)換關(guān)系的獲取方法，其包括：提供檢測(cè)設(shè)備，所述檢測(cè)設(shè)備具有第一坐標(biāo)系；提供待測(cè)物，所述待測(cè)物具有第二坐標(biāo)系，所述待測(cè)物表面具有多個(gè)特征點(diǎn)，所述特征點(diǎn)在第二坐標(biāo)系下具有特征坐標(biāo)；將所述待測(cè)物放置于所述檢測(cè)設(shè)備；在將所述待測(cè)物放置于所述檢測(cè)設(shè)備之后，通過檢測(cè)設(shè)備對(duì)多個(gè)所述特征點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，獲取特征點(diǎn)在第一坐標(biāo)系下的測(cè)量坐標(biāo)；根據(jù)所述特征坐標(biāo)與所述測(cè)量坐標(biāo)，獲取所述第一坐標(biāo)系與所述第二坐標(biāo)系之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系。

可選的，所述第一坐標(biāo)系包括第一坐標(biāo)軸、第二坐標(biāo)軸和第三坐標(biāo)軸，所述第一坐標(biāo)軸和第二坐標(biāo)軸所組成的平面為第一坐標(biāo)平面；所述第二坐標(biāo)系包括第四坐標(biāo)軸、第五坐標(biāo)軸和第六坐標(biāo)軸，所述第四坐標(biāo)軸和第五坐標(biāo)軸組成的平面為第三坐標(biāo)平面；

根據(jù)所述特征坐標(biāo)與所述測(cè)量坐標(biāo)，獲取所述第一坐標(biāo)系與所述第二坐標(biāo)系之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系的步驟包括：獲取所述第一坐標(biāo)軸與所述第四坐標(biāo)軸之間的第一軸線位置關(guān)系；獲取所述第二坐標(biāo)軸與所述第五坐標(biāo)軸之間的第二軸線位置關(guān)系；獲取第一坐標(biāo)系原點(diǎn)與第二坐標(biāo)系原點(diǎn)之間的原點(diǎn)位置關(guān)系；根據(jù)所述第一軸線位置關(guān)系、第二軸線位置關(guān)系和原點(diǎn)位置關(guān)系，獲取所述轉(zhuǎn)換關(guān)系。

可選的，所述多個(gè)特征點(diǎn)包括第一特征點(diǎn)和第二特征點(diǎn)，所述第一特征點(diǎn)與第二特征點(diǎn)為不同的特征點(diǎn)；

通過所述檢測(cè)設(shè)備對(duì)所述特征點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，獲取特征點(diǎn)在第一坐標(biāo)系下的測(cè)量坐標(biāo)的步驟包括：通過所述檢測(cè)設(shè)備對(duì)所述第一特征點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，獲取第一特征點(diǎn)在所述第一坐標(biāo)平面中的第一測(cè)量坐標(biāo)；通過所述檢測(cè)設(shè)備對(duì)所述第二特征點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，獲取第二特征點(diǎn)在所述第一坐標(biāo)平面中的第二測(cè)量坐標(biāo)；

獲取所述第一坐標(biāo)軸與所述第四坐標(biāo)軸之間的第一軸線位置關(guān)系的步驟包括：根據(jù)所述第一測(cè)量坐標(biāo)和第二測(cè)量坐標(biāo)，獲取所述第一特征點(diǎn)和第二特征點(diǎn)在所述第一坐標(biāo)平面內(nèi)的第一相對(duì)位移；根據(jù)所述第一相對(duì)位移獲取所述第一軸線位置關(guān)系。

可選的，所述第一特征點(diǎn)和第二特征點(diǎn)的連線在所述第三坐標(biāo)平面內(nèi)具有第一投影線，所述第一投影線與所述第四坐標(biāo)軸具有第一預(yù)設(shè)夾角；根據(jù)所述第一相對(duì)位移獲取所述第一軸線位置關(guān)系的步驟包括：使所述第一相對(duì)位移在所述第三坐標(biāo)平面內(nèi)的投影旋轉(zhuǎn)所述第一預(yù)設(shè)夾角，得到第一標(biāo)準(zhǔn)位移；根據(jù)所述第一標(biāo)準(zhǔn)位移獲取所述第一軸線位置關(guān)系。