[發(fā)明專利]一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011069768.6
• 申請日: 2020-10-09
• 公開（公告）號(hào): CN111983887A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙廣;羅招龍;朱安康;劉秀梅;王康
• 申請（專利權(quán)）人: 南京晶驅(qū)集成電路有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/36
• 分類號(hào): G03F1/36
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 朱艷

1.一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，其至少包括以下步驟：

提供一集成電路版圖，所述集成電路版圖包括多個(gè)第一圖形及第一亞分辨率輔助圖形；所述多個(gè)第一亞分辨率輔助圖形布置在所述多個(gè)第一圖形外圍，所述第一亞分辨率輔助圖形與所述第一圖形之間具有一最小間距；

對所述第一圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近修正，獲得多個(gè)第二圖形；

將所述第一亞分辨率輔助圖形沿垂直于所述第二圖形的方向分割為多個(gè)子圖形，獲得第二亞分辨率輔助圖形，其中相鄰所述子圖形間設(shè)有第一距離；

將所述子圖形向所述第二圖形移動(dòng)第二距離，獲取所述第二圖形光學(xué)模型的模擬輪廓相對于所述第一圖形的邊緣位置放置誤差；

調(diào)整所述第一距離和所述第二距離，獲取所述第二圖形光學(xué)模型的模擬輪廓相對于所述第一圖形的最小邊緣位置放置誤差；

通過所述最小邊緣位置放置誤差，獲得最優(yōu)第二亞分辨率輔助圖形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，所述第二圖形光學(xué)模型的模擬輪廓相對于所述第一圖形在水平方向上存在第一誤差，所述第二圖形光學(xué)模型的模擬輪廓相對于所述第一圖形在垂直方向上存在第二誤差。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，所述第二亞分辨率輔助圖形包括兩個(gè)子圖形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，所述第一亞分辨率輔助圖形為矩形，所述子圖形為沿所述矩形的長邊進(jìn)行分割。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，所述第一距離的調(diào)整范圍為0至所述第一亞分辨率輔助圖形的長邊的長度。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，所述第一距離的調(diào)整間隔為0至所述第一亞分辨率輔助圖形的長邊的長度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，所述第二距離的調(diào)整范圍為0至所述第一亞分辨率輔助圖形距第二圖形的距離。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，所述第二距離的調(diào)整間隔為0至所述第一亞分辨率輔助圖形距第二圖形的距離。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，依據(jù)所述第一距離和所述第二距離，獲取所述第一誤差和所述第二誤差。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種亞分辨率輔助圖形的獲取方法，其特征在于，依據(jù)所述第一誤差和所述第二誤差的均方根，獲得最小邊緣位置放置誤差。