[發明專利]一種電子混合氣的制備裝置及方法

在審

• 申請號: 202011068170.5
• 申請日: 2020-10-08
• 公開（公告）號: CN112108022A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 林坤;王少波;閆云;馬朝選;張凈普;魯毅;張非非;白雪萍
• 申請（專利權）人: 中船重工（邯鄲）派瑞特種氣體有限公司
• 主分類號: B01F3/02
• 分類號: B01F3/02;B01F13/10;B01F15/00
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 周蜜

本發明涉及一種電子混合氣的制備裝置及方法，屬于電子混合氣制備技術領域。所述裝置包括箱體、雙向移動機構、滑板、轉動機構、轉盤、放置槽、限位機構、抵緊機構、放置座、鎖緊機構、配氣瓶、目標瓶、電控閥門、出氣口、密封門、安裝支架、導氣管、旋轉接頭、旋轉機構、進氣管和抽氣機構；所述方法采用所述裝置完成。通過設置雙向移動機構、限位機構與鎖緊機構，可實現目標瓶與多個配氣瓶的裝載，使用便捷，并可通過抵緊機構進一步限位；通過設置轉動機構與旋轉機構，可完成旋轉接頭自動連接，并配合轉動機構將多個配氣瓶內氣體注入目標瓶內，實現自動制備；在密閉箱體內進行，無氣體泄露，在制備結束后可通過抽氣機構抽出氣體，安全性高。

技術領域

本發明涉及一種電子混合氣的制備裝置及方法，屬于電子混合氣制備技術領域。

背景技術

隨著電子工業，尤其是大規模集成電路的發展，混合氣的用量越來越大，人們把半導體工業用的混合氣稱為電子混合氣，電子混合氣種類很多，組分氣體主要有：硅烷、砷烷、磷烷、硼烷、鍺烷、硒化氫、硫化氫四氟化碳(底氣為氧)；底氣有：氮、氫、氬、氦等。

但是現有的電子混合氣制備裝置大多不能做到在密閉環境里進行自動化制備，而混合氣一般均具備毒性，發生泄漏不能及時進行保護。

發明內容

為克服現有技術存在的缺陷，本發明的目的在于提供一種電子混合氣的制備裝置及方法，可實現快速完成裝載，并能夠在密閉環境內進行自動化的制備。

為實現本發明的目的，提供以下技術方案。

一種電子混合氣的制備裝置，所述裝置包括箱體、雙向移動機構、滑板、轉動機構、轉盤、放置槽、限位機構、抵緊機構、放置座、鎖緊機構、配氣瓶、目標瓶、電控閥門、出氣口、密封門、安裝支架、導氣管、旋轉接頭、旋轉機構、進氣管和抽氣機構。

箱體底部設有條形腔，條形腔內設有雙向移動機構，箱體內底部設有與雙向移動機構固定連接的滑板和放置座；滑板頂部通過轉動機構連接有轉盤，轉盤上設有一個以上的放置槽，放置槽內底部設有限位機構用以限位放置配氣瓶，轉盤上端安裝有用于抵緊配氣瓶的抵緊機構；放置座上通過鎖緊機構鎖緊放置目標瓶；配氣瓶與目標瓶的頂部瓶口處均設置有電控閥門與出氣口。箱體的兩側壁均安裝有密封門，箱體內頂部固定有安裝支架，安裝支架上安裝有水平設置的導氣管，導氣管的兩端均轉動連接有旋轉接頭，出氣口的外壁設有與旋轉接頭配合的螺紋，導氣管上安裝有用于轉動旋轉接頭的旋轉機構；進氣管貫穿箱體頂部，伸入箱體內部一端與導氣管連接，進氣管內安裝有電磁閥；箱體的一側側壁上設有開口，側壁上安裝有抽氣機構通過開口抽氣。

優選轉盤的上周向等間距設有若干個放置槽。

優選雙向移動機構包括安裝在箱體外側壁底部上的第一電機，第一電機的橫向輸出軸末端延伸至條形腔內，與條形腔內雙頭螺紋桿固定連接，雙頭螺紋桿上兩側分別螺紋連接有兩個滑塊，條形腔頂部設有條形口，兩個滑塊的上端貫穿條形口伸入箱體中并分別與滑板以及放置座固定連接。

優選轉動機構包括安裝在滑板頂部一側的第三電機，第三電機縱向輸出軸末端固定有轉輪，轉輪的外壁固定有凸起，轉盤的外壁固定有轉環，轉環的外壁設有一個以上與凸起配合連接的凹槽。

優選限位機構包括固定在放置槽內底部的卡塊，卡塊的上端設有兩個限位槽，配氣瓶的底部固定有兩根與限位槽對應的限位桿。

優選抵緊機構包括安裝在轉盤上的液壓缸，液壓缸的縱向伸縮的末端固定有連接板，連接板的外壁固定有與配氣瓶上端配合的弧形板。

優選鎖緊機構包括固定在放置座前端的兩根固定桿，目標瓶的外壁設有固定桿穿過進行限位的限位環，穿過限位環后固定桿上螺紋連接有螺母進行鎖緊。

優選旋轉機構包括安裝在導氣管上的雙頭電機，雙頭電機的兩個橫向的輸出軸末端均固定有齒輪，旋轉接頭的外壁固定有與齒輪嚙合的齒圈。