[發明專利]一種測量磁隧道結自旋進動的裝置和方法在審
| 申請號： | 202011066549.2 | 申請日： | 2020-10-01 |
| 公開（公告）號： | CN112147551A | 公開（公告）日： | 2020-12-29 |
| 發明（設計）人： | 楊杭福;黃霞妮;余能君;吳瓊;張朋越;葛洪良;徐靖才 | 申請（專利權）人： | 楊杭福 |
| 主分類號： | G01R33/12 | 分類號： | G01R33/12;H01L43/08 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測量 隧道 自旋 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種測量磁隧道結自旋進動的裝置和方法，其特征在于磁隧道結（MTJ）的結構主要包括：氧化鎂或者氧化鋁為絕緣層，CoFeB為磁性自由層和參考層，以CoFe為反鐵磁層，以及保護層和連接層，以Ru, Ta, Cu的一層或多層作為保護層，以Cu, Ta和CuN的一層或多層作為連接層；純電學的方法進行測量自旋進動包括以下步驟：首先在MTJ中加一個恒定的小電流±IC，接著，利用電流脈沖或者激光脈沖在磁隧道結自由層激發自旋進動，所激發的自旋進動引起磁電阻的變化ΔR，從而產生一個高頻電壓信號±ΔV=±ICΔR，該信號通過采樣示波器測量得到，通過改變所加小電流的極性，對所測電壓信號求差值，去除背景信號，并得到磁隧道結自旋進動所產生的電壓震蕩信號。
2.根據權利要求1所述的測量方法，在測量MTJ磁電阻的過程中，使用Keithley 2400在MTJ中施加一個直流電流±IC，電流的大小為10 μA至300 μA。
3.根據權利要求1所述的測量方法，電流脈沖的大小為1V至5V, 脈沖持續時間為5 ns,脈沖的間隔為60 ns; 所述的激光為鈦紅寶石激光器或其他激光器激發的飛秒激光脈沖。
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