[發明專利]真空腔室和艙門結構

在審

• 申請號: 202011063421.0
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112081504A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 潘能科;汪云飛
• 申請（專利權）人: 重慶中元匯吉生物技術有限公司
• 主分類號: E06B3/70
• 分類號: E06B3/70;E06B3/34;E05B1/00;E05F1/12;G01N35/00;G01N35/04
• 代理公司: 重慶航圖知識產權代理事務所(普通合伙) 50247
• 代理人: 胡小龍

本發明公開了一種艙門結構，包括設置在頂蓋上的加樣孔和蓋裝在所述加樣孔外側的艙門，艙門上設有凸起，凸起在艙門蓋裝在加樣孔上時向內延伸伸入所述加樣孔，所述凸起的內側側面與所述頂蓋的內側側面之間的間距小于加樣靶板的厚度。本發明的艙門結構，通過將凸起的內側側面與頂蓋內側側面之間的間距設置為小于加樣靶板的厚度，如此，當加樣靶板沒有安裝正確時，凸起的內側側面會與加樣靶板之間產生干涉，從而導致艙門無法正常關閉，也即本發明的艙門結構能夠檢測加樣靶板是否正確安裝到靶板槽內；另外，當加樣靶板的安裝位置有細微誤差時，艙門關閉過程中，凸起可壓在加樣靶板上，將加樣靶板壓正，使其正確安裝在靶板槽內，還能起到糾偏的作用。

技術領域

本發明涉及一種真空腔室，具體的為一種真空腔室和艙門結構。

背景技術

現有真空腔室的艙門結構一般包括設置在頂蓋上的加樣孔和蓋裝在加樣孔外側的艙門。艙門與加樣孔之間設有密封圈等密封結構。使用時，將靶板托盤移動至加樣孔內側，打開艙門后將靶板放置在靶板托盤的靶板槽內，而后蓋上艙門，抽真空。

現有真空腔室的艙門結構雖然在一定程度上能夠滿足使用要求，但仍存在以下不足：

1、無法檢測樣品是否正確放置在靶板槽內，及當靶板未正確安裝在靶板槽內時，艙門結構仍能夠順利關閉；

2、靶板托盤、加樣孔和艙門之間形成抽真空空間，該抽真空空間的體積較大，降低了抽真空效率。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種真空腔室和艙門結構，能夠用于檢測加樣靶板是否正確安裝到靶板槽內。

為達到上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種艙門結構，包括設置在頂蓋上的加樣孔和蓋裝在所述加樣孔外側的艙門，所述艙門上設有凸起，所述凸起在艙門蓋裝在所述加樣孔上時向內延伸伸入所述加樣孔，所述凸起的內側側面與所述頂蓋的內側側面之間的間距小于加樣靶板的厚度。

進一步，所述艙門的外側設有把手機構，所述把手機構包括把手，所述把手與所述艙門之間設有限位安裝機構，所述限位安裝機構用于限定所述把手與所述艙門之間的最大間距、并使所述艙門可相對于所述把手在該最大間距范圍內移動。

進一步，所述把手與所述艙門之間設有至少一個對所述艙門施加向內的壓力的壓簧。

進一步，所述把手與所述艙門之間分別對應設有第一壓簧槽和第二壓簧槽，所述壓簧的兩端分別安裝在所述第一壓簧槽和第二壓簧槽內。

進一步，所述限位安裝機構包括固定安裝在所述艙門外側面上的連接塊，所述連接塊的兩端分別設有限位銷；所述把手的內側面上設有罩在所述連接塊外的安裝槽，所述安裝槽的兩側壁上分別與所述限位銷對應設有限位孔；所述限位銷上設有延伸伸入對應的所述限位孔內的限位段，所述限位孔在垂直于所述艙門外側側面的方向上的長度大于所述限位段的外徑、并使所述限位段在垂直于所述艙門外側側面的方向上可沿著所述限位孔滑動。

進一步，所述限位孔在平行于所述艙門外側側面且垂直于所述限位銷軸線的方向上的長度大于所述限位段的外徑、并使所述限位段在平行于所述艙門外側側面且垂直于所述限位銷軸線的方向上可沿著所述限位孔滑動。

進一步，所述連接塊的兩端分別設有銷孔，所述限位銷安裝在對應的所述銷孔內，所述銷孔內設有用于將對應的所述限位銷朝向對應的所述限位孔頂出的頂出彈簧。

進一步，所述限位銷位于所述銷孔內的一段與所述限位孔之間限位配合。

進一步，所述把手機構包括固定安裝在所述頂蓋上的鉸接座，所述把手的一端與所述鉸接座鉸接連接。

進一步，所述把手的另一端與所述頂蓋之間設有磁吸結構，所述磁吸結構包括磁鐵和磁力傳感器。