[發(fā)明專利]用于功率器件的深低溫控溫系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011060241.7
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112397466B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設計）人: 劉大福;李雪
• 申請（專利權）人: 無錫中科德芯光電感知技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L23/473
• 分類號: H01L23/473
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 楊東明;金學來

1.一種用于功率器件的深低溫控溫系統(tǒng)，其特征在于，包括：

儲液罐，用于存儲適用于不同的溫區(qū)的多種冷卻液中的至少一種；

氣體供應模塊，與所述儲液罐連接，并且用于向所述儲液罐內提供不同壓強的壓縮氣體，以擠出所述儲液罐內的冷卻液；

流體管路，與所述儲液罐連接，并且用于根據(jù)不同的流動速率將從所述儲液罐中擠出的所述冷卻液流動至目標熱負載，以對所述目標熱負載進行制冷，所述冷卻液在所述流體管路中的流動速率與所述氣體供應模塊提供的壓縮氣體的壓強相關聯(lián)；以及，

控制模塊，分別與所述氣體供應模塊及所述目標熱負載通信連接，并且被配置為根據(jù)獲取到的所述目標熱負載的加熱功率控制所述氣體供應模塊向所述儲液罐內提供的壓縮氣體的壓強，以控制所述流體管路內流動的所述冷卻液的流動速率；

所述深低溫控溫系統(tǒng)包括測試裝置；

所述測試裝置包括所述儲液罐、所述氣體供應模塊、所述流體管路、所述控制模塊，所述測試裝置還包括換熱器及氣體質量流量計；

所述流體管路的一端與所述儲液罐連接，并且另一端經過所述熱負載與所述換熱器連接，所述換熱器還與所述氣體質量流量計連接，所述氣體質量流量計還與所述控制模塊通信連接；

所述換熱器用于氣化所述流體管路內流動的冷卻液；

所述氣體質量流量計用于測量所述冷卻液通過所述換熱器氣化后的氣體的質量流量并發(fā)送至所述控制模塊。

2.如權利要求1所述的深低溫控溫系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體供應模塊包括氣源、氣體管路、電控調壓閥及氣壓表；

所述氣體管路的一端與所述氣源連接，并且另一端與所述儲液罐連接；

所述電控調壓閥設置于所述氣體管路上，并且與所述控制模塊通信連接，所述控制模塊被配置為控制所述電控調壓閥的閥門開合狀態(tài)，以控制所述氣體管路向所述儲液罐內提供的壓縮氣體的壓強；

所述氣壓表設置于所述氣體管路上，并且與所述控制模塊通信連接，所述氣壓表用于獲取所述氣體管路內的壓縮氣體的壓強并發(fā)送至所述控制模塊。

3.如權利要求2所述的深低溫控溫系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體供應模塊還包括放氣閥；

所述放氣閥設置于所述氣體管路上。

4.如權利要求2所述的深低溫控溫系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體管路包括304L不銹鋼管路；和/或，

所述氣體管路的外徑的范圍為7mm～9mm，所述氣體管路的內徑的范圍為5mm～7mm。

5.如權利要求1所述的深低溫控溫系統(tǒng)，其特征在于，還包括充注閥及出液閥；

所述流體管路的一端與所述儲液罐連接，并且另一端通過所述充注閥引入至所述目標熱負載的流體入口；

所述流體管路的另一端還從所述目標熱負載的流體出口引出并與所述出液閥連接。

6.如權利要求1所述的深低溫控溫系統(tǒng)，其特征在于，所述流體管路包括304L不銹鋼管路；和/或，

所述流體管路的外徑的范圍為7mm～9mm，所述流體管路的內徑的范圍為5mm～7mm。

7.如權利要求1所述的深低溫控溫系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻液包括液氮或液態(tài)甲烷；和/或，

所述控制模塊包括控制電腦。

8.如權利要求1所述的深低溫控溫系統(tǒng)，其特征在于，所述換熱器的冷卻盤管路包括螺旋紫銅冷卻管路；和/或，

所述換熱器的冷卻盤管路的外徑的范圍為7mm～9mm，所述換熱器的冷卻盤管路的內徑的范圍為5mm～7mm；和/或，

所述換熱器的冷卻盤管路放置于水浴箱中并固定，所述水浴箱的水浴溫度的設定范圍為23℃～27℃；和/或，

所述換熱器的材質包括無氧銅。