[發明專利]一種等離子化學氣相沉基材表面納米膜的制備方法

在審

• 申請號: 202011059598.3
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN112251738A
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 董海青;申鵬
• 申請（專利權）人: 深圳市創智捷科技有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/02
• 代理公司: 深圳市深軟翰琪知識產權代理有限公司 44380
• 代理人: 吳雅麗

1.一種等離子化學氣相沉基材表面納米膜的制備方法，其特征在于：其制備方法步驟如下：

步驟一：利用丙酮和酒精對線路板金屬基材表面進行清洗，

步驟二：利用干燥箱對清洗后的線路板金屬基材進行干燥；

步驟三：將干燥后的線路板金屬基材置于冷卻箱內進行快速冷卻；

步驟四：將步驟二中冷卻后的線路板金屬基材置于等離子反應室內，

步驟五：在等離子反應室低真空度的環境下，通過離子源放電處理系統進行表面放電處理，以達到活化線路板金屬基材表面的目的；

步驟六：進一步將帶有高侵蝕性氣體的混合氣體通過等離子反應室的導氣管送入等離子反應室內，對線路板金屬基材表面進行侵蝕，提高了后續納米膜的在線路板金屬基材表面的形成效果；

步驟七：在真空度下，將鍍膜材料和等離子氣體一同送入等離子反應室內，鍍膜材料和等離子氣體進行碰撞反應，在線路板金屬基材表面沉積形成納米膜；

步驟八：關閉等離子反應室，待等離子反應室恢復大氣壓后，取出覆有納米膜的線路板金屬基材；

步驟九：對取出的覆有納米膜的線路板金屬基材進行包裝。

2.根據權利要求1所述的等離子化學氣相沉基材表面納米膜的制備方法，其特征在于：所述步驟一中利用丙酮和酒精對線路板金屬基材進行超聲波清洗，清洗時間為20-30min，利用丙酮和酒精清洗完成后，進一步將線路板金屬基材放入去離子水中進行二次超聲清洗處理，清洗時間為15-30min。

3.根據權利要求1所述的等離子化學氣相沉基材表面納米膜的制備方法，其特征在于：所述步驟二中干燥箱的干燥溫度為60-75℃，并保持干燥箱內濕度為6-8％，干燥時間為30-45min。

4.根據權利要求1所述的等離子化學氣相沉基材表面納米膜的制備方法，其特征在于：所述步驟三中冷卻箱的冷卻溫度為20-25℃，并保持干燥箱內濕度為6-8％，冷卻時間為40-60min。

5.根據權利要求1所述的等離子化學氣相沉基材表面納米膜的制備方法，其特征在于：所述步驟五中等離子反應室低真空度為6-8pa，放電處理時間為30-35min。

6.根據權利要求1所述的等離子化學氣相沉基材表面納米膜的制備方法，其特征在于：所述步驟六中高侵蝕性氣體為二氧化氮，侵蝕時間為20-30min。

7.根據權利要求1所述的等離子化學氣相沉基材表面納米膜的制備方法，其特征在于：所述線路板金屬基材的材質為鋁或合金材料。