[發明專利]一種雙芯體復合硅壓阻壓力傳感器數據融合方法有效
| 申請號: | 202011054177.1 | 申請日: | 2020-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN112345127B | 公開(公告)日: | 2022-07-15 |
| 發明(設計)人: | 韓士超;趙瑩;王希洋;朱曉;謝耀;柏楠 | 申請(專利權)人: | 北京自動化控制設備研究所 |
| 主分類號: | G01L1/22 | 分類號: | G01L1/22 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 100074 北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 雙芯體 復合 硅壓阻 壓力傳感器 數據 融合 方法 | ||
1.一種雙芯體復合硅壓阻壓力傳感器數據融合方法,其特征在于,所述方法包括:
在第一芯體壓力量程的全壓力范圍和全溫度范圍內建立第一芯體的擬合模型和第二芯體的擬合模型;
基于第一芯體的擬合模型獲取待測環境的第一解算壓力值;
基于第二芯體的擬合模型獲取待測環境的第二解算壓力值;
將第二解算壓力值與第二芯體壓力量程的最大值進行比較;
在比較結果為第二解算壓力值大于第二芯體壓力量程的最大值的情況下,將第一解算壓力值確定為待測環境的輸出壓力值;
在比較結果為第二解算壓力值小于或者等于第二芯體壓力量程的最大值減去預設值的差值的情況下,將第二解算壓力值確定為待測環境的輸出壓力值;
在比較結果為第二解算壓力值大于第二芯體壓力量程的最大值減去預設值的差值且小于或者等于第二芯體壓力量程的最大值的情況下,獲取第二解算壓力值、與第二解算壓力值相鄰的前m個第二解算壓力值、第一解算壓力值和與第一解算壓力值相鄰的前n個第一解算壓力值的平均值,并將平均值確定為待測環境的輸出壓力值;
其中,第一芯體壓力量程的最大值大于第二芯體壓力量程的最大值。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,在第一芯體壓力量程的全壓力范圍和全溫度范圍內建立第一芯體的擬合模型和第二芯體的擬合模型包括:
在第一芯體壓力量程的全壓力范圍和全溫度范圍內獲取第一芯體的多個第一壓力信號和與每個第一壓力信號一一對應的第一溫度信號;
基于第一芯體的多個第一壓力信號和與每個第一壓力信號一一對應的第一溫度信號建立第一芯體的擬合模型;
在第一芯體壓力量程的全壓力范圍和全溫度范圍內獲取第二芯體的多個第二壓力信號和與每個第二壓力信號一一對應的第二溫度信號;
基于第二芯體的多個第二壓力信號和與每個第二壓力信號一一對應的第二溫度信號建立第二芯體的擬合模型。
3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,第一芯體的型譜和第二芯體的型譜相同。
4.根據權利要求3所述的方法,其特征在于,所述第一芯體的型譜和所述第二芯體的型譜同為絕壓型、表壓型或者差壓型。
5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,在第一芯體壓力量程的全壓力范圍和全溫度范圍內建立第一芯體的擬合模型和第二芯體的擬合模型之后,所述方法還包括:
分別對第一芯體的擬合模型和第二芯體的擬合模型進行驗證,并在驗證結果為不合格的情況下,重新在第一芯體壓力量程的全壓力范圍和全溫度范圍內建立第一芯體的擬合模型和第二芯體的擬合模型。
6.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,分別對第一芯體的擬合模型和第二芯體的擬合模型進行驗證包括:
判斷第一芯體的擬合模型的擬合殘差和第二芯體的擬合模型的擬合殘差是否均小于殘差臨界值,若是,則驗證結果為合格,否則驗證結果為不合格。
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