[發(fā)明專利]掩膜板，掩膜板組件及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011054111.2
• 申請(qǐng)日: 2020-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN112126893B
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉月
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;H10K71/16;H10K71/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 張琛

1.一種掩膜板組件，其特征在于，所述掩膜板組件包括：

掩膜板框架，包括多個(gè)邊框以及由所述多個(gè)邊框圍繞的開口區(qū)；

至少一個(gè)掩膜板，所述掩膜板包括：有效掩膜區(qū)，位于所述掩膜板的中部，所述有效掩膜區(qū)具有陣列排布的多個(gè)第一通孔；以及焊接區(qū)，配置為焊接至掩膜板框架，位于所述有效掩膜區(qū)相對(duì)的兩側(cè)，所述焊接區(qū)具有陣列排布的多個(gè)第二通孔；以及

焊接片，位于所述焊接區(qū)遠(yuǎn)離所述掩膜板框架一側(cè)，所述焊接片用于將所述掩膜板的焊接區(qū)焊接至所述掩膜板框架的相對(duì)的兩邊框；

所述至少一個(gè)掩膜板包括多個(gè)掩膜板，所述多個(gè)掩膜板沿所述相對(duì)的兩邊框的延伸的方向依次排列，

所述焊接片呈長(zhǎng)條狀，所述焊接片同時(shí)與所述多個(gè)掩膜板的所述焊接區(qū)和所述掩膜板框架的所述兩邊框焊接，

其中，所述掩膜板框架和所述焊接片的材料與所述掩膜板相同，均為低膨脹系數(shù)的金屬或金屬合金材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述掩膜板組件，所述掩膜板還包括：

應(yīng)力緩沖區(qū)，位于所述焊接區(qū)遠(yuǎn)離所述有效掩膜區(qū)一側(cè)，所述應(yīng)力緩沖區(qū)具有陣列排布的多個(gè)第三通孔，所述應(yīng)力緩沖區(qū)配置為所述掩膜板張網(wǎng)時(shí)緩沖所述掩膜板上的應(yīng)力。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板組件，所述掩膜板還包括：

夾持區(qū)，配置為所述掩膜板張網(wǎng)時(shí)被張網(wǎng)機(jī)的夾具夾持，位于所述應(yīng)力緩沖區(qū)遠(yuǎn)離所述焊接區(qū)的一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜板組件，其中，

所述焊接區(qū)包括第一焊接區(qū)和第二焊接區(qū)，所述第一焊接區(qū)和第二焊接區(qū)分別位于所述有效掩膜區(qū)相對(duì)的兩側(cè)；

所述應(yīng)力緩沖區(qū)包括第一應(yīng)力緩沖區(qū)和第二應(yīng)力緩沖區(qū)，所述第一應(yīng)力緩沖區(qū)位于所述第一焊接區(qū)遠(yuǎn)離所述有效掩膜區(qū)一側(cè)，所述第二應(yīng)力緩沖區(qū)位于所述第二焊接區(qū)遠(yuǎn)離所述有效掩膜區(qū)一側(cè)；

所述夾持區(qū)包括第一夾持區(qū)和第二夾持區(qū)，所述第一夾持區(qū)位于所述第一應(yīng)力緩沖區(qū)遠(yuǎn)離所述第一焊接區(qū)的一側(cè)，所述第二夾持區(qū)位于所述第二應(yīng)力緩沖區(qū)遠(yuǎn)離所述第二焊接區(qū)的一側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板組件，其中，所述第一通孔的分布密度、第二通孔的分布密度以及第三通孔的分布密度相同或不同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的掩膜板組件，其中，所述掩膜板的材料為低膨脹系數(shù)的金屬或金屬合金材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜板組件，其中，所述掩膜板的材料為Invar合金或SUS合金。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的掩膜板組件，其中，所述第一通孔的形狀為圓形或多邊形。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的掩膜板組件，其中，相鄰所述第一通孔的間距為10～300μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板組件，其中，所述掩膜板的有效掩膜區(qū)在所述掩膜板框架上的正投影落入所述開口區(qū)中。

11.一種掩膜板組件的制造方法，所述制造方法包括：

采用張網(wǎng)機(jī)對(duì)所述權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的掩膜板組件沿所述掩膜板的延伸方向進(jìn)行拉伸使得所述掩膜板處于拉伸狀態(tài)；

將所述處于拉伸狀態(tài)的掩膜板與所述掩膜板框架對(duì)準(zhǔn)并緊貼，使得所述掩膜板的焊接區(qū)緊貼所述掩膜板框架相對(duì)的兩邊框；以及

在所述焊接區(qū)處設(shè)置焊接片，所述焊接片位于所述焊接區(qū)遠(yuǎn)離所述掩膜板框架一側(cè)，采用焊接片將所述焊接區(qū)焊接至所述兩邊框，

其中，所述掩膜板框架和所述焊接片的材料與所述掩膜板相同，均為低膨脹系數(shù)的金屬或金屬合金材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的制造方法，還包括：

在所述焊接區(qū)遠(yuǎn)離所述有效掩膜區(qū)一側(cè)切割所述掩膜板。