[發(fā)明專利]一種帶通濾光片有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011053182.0 | 申請日： | 2020-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN112130241B | 公開（公告）日： | 2022-11-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 蘇炎;李昱;陳居凱 | 申請（專利權）人： | 蘇州眾為光電有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/28 | 分類號： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權代理有限公司 11369 | 代理人： | 孔凡玲 |
| 地址： | 215000 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濾光 | ||
1.一種帶通濾光片，包括基層和堆疊在基層上的膜系，其特征在于，所述膜系的膜系結構包括若干個法布里-帕羅腔及連接層；所述法布里-帕羅腔的結構為：aHLHL2HLHLH、bHLHLHLHL2HLHL3HLHLH、cHLHLHL2HLHLHLH、dHLHL2HLHLA，其中，dHLHL2HLHLA為最后一層法布里-帕羅腔；最后一層法布里-帕羅腔包括連接層；
H為四分之一中心波長光學厚度的高折射率層，L為四分之一中心波長光學厚度的低折射率層；2H為兩個四分之一中心波長光學厚度，A為非四分之一光學厚度的高折射率層；a、b、c、d為每個所述法布里-帕羅腔的第一個高折射率層的四分之一中心波長光學厚度的系數(shù)；
所述a、b、c、d為0.974-1.009，所述法布里-帕羅腔的第一個高折射率層的四分之一中心波長光學厚度為0.974-1.009個四分之一波長的光學厚度，以使此層結束時的透過率達到極值；
所述法布里-帕羅腔之間通過所述連接層級聯(lián)，所述連接層為非四分之一波長的光學厚度的低折射率層；
所述連接層的光學厚度為0.675-2.450中的非整數(shù)個四分之一波長的光學厚度。
2.如權利要求1的帶通濾光片，其特征在于，所述法布里-帕羅腔的第一個高折射率層的四分之一中心波長光學厚度的系數(shù)通過上一個所述法布里-帕羅腔的最后一層的光學厚度優(yōu)化得出。
3.如權利要求1的帶通濾光片，其特征在于，在鍍膜監(jiān)控中采用極值法監(jiān)控，以便接下來的每一層四分之一波長的光學厚度的膜層都可以采用極值法監(jiān)控。
4.如權利要求1的帶通濾光片，其特征在于，所述濾光片在入射角度為0-13.5度下，波長的插損隨波長線性地遞增或遞減。
5.如權利要求1的帶通濾光片，其特征在于，所述濾光片在1304.5-1317nm波段范圍內的插損以斜率0.3846dB/nm從-5dB遞增至-0.2dB。
6.如權利要求1的帶通濾光片，其特征在于，所述法布里-帕羅腔的數(shù)量為9個。
7.如權利要求1的帶通濾光片，其特征在于，所述高折射率層的材料為Ta2O5、Nb2O5、TiO2中的至少之一，所述高折射率層的折射率在1304.5-1317nm的范圍為1.85至2.5。
8.如權利要求1的帶通濾光片，其特征在于，所述低折射率層的材料為SiO2、Al2O3、MgF2中的至少之一，所述低折射率層的折射率在1304.5-1317nm的范圍為1.38至1.6。
9.如權利要求1的帶通濾光片，其特征在于，所述基層為二氧化硅材料或硅材料基片，基層的折射率在1304.5-1317nm的范圍為1.45至3.5。
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