[發(fā)明專利]一種異形PBN和石英組合坩堝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011048268.4 | 申請(qǐng)日： | 2020-09-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN112195506A | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-01-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 羅福敏;胡昌勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 威科賽樂(lè)微電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B11/00 | 分類號(hào)： | C30B11/00;C30B15/12;C30B29/42;C30B29/40 |
| 代理公司： | 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245 | 代理人： | 張晨 |
| 地址： | 404040 重慶*** | 國(guó)省代碼： | 重慶;50 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 異形 pbn 石英 組合 坩堝 | ||
1.一種異形PBN和石英組合坩堝，包括石英坩堝、PBN坩堝和石英帽，所述石英坩堝包括包覆腔和石英坩堝籽晶腔，所述PBN坩堝包括原料腔和PBN坩堝籽晶腔，其特征在于：所述PBN坩堝和石英帽均設(shè)置于石英坩堝的內(nèi)腔中，所述石英帽設(shè)置在靠近石英坩堝的開(kāi)口一端，且所述石英帽的開(kāi)口朝向PBN坩堝；所述石英坩堝籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段與PBN坩堝籽晶腔的外壁緊密貼合，所述石英坩堝的第一籽晶腔段和包覆腔與PBN坩堝之間設(shè)置有間隔區(qū)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異形PBN和石英組合坩堝，其特征在于：所述石英坩堝的內(nèi)壁上設(shè)置有第一臺(tái)階，所述PBN坩堝的內(nèi)壁上設(shè)置有第二臺(tái)階，所述第二臺(tái)階的外壁與第一臺(tái)階的內(nèi)壁緊密貼合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種異形PBN和石英組合坩堝，其特征在于：所述石英坩堝的包覆腔包括第一石英坩堝段和第二石英坩堝段，所述第一石英坩堝段、第二石英坩堝段、第一籽晶腔段和第二籽晶腔段依次連接且直徑依次減小，所述第一臺(tái)階設(shè)置在第一石英坩堝段與第二石英坩堝段的連接處；所述PBN坩堝還包括第一PBN坩堝段，所述第一PBN坩堝段、原料腔和PBN坩堝籽晶腔依次連接且直徑依次減小，所述第二臺(tái)階設(shè)置在第一PBN坩堝段與原料腔的連接處。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種異形PBN和石英組合坩堝，其特征在于：所述第二石英坩堝段與第一籽晶腔段之間設(shè)置有石英坩堝錐形段，所述原料腔與PBN坩堝籽晶腔之間設(shè)置有PBN坩堝籽錐形段。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種異形PBN和石英組合坩堝，其特征在于：所述第一PBN坩堝段的高度小于第一石英坩堝段的高度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種異形PBN和石英組合坩堝，其特征在于：所述石英帽的外徑大于PBN坩堝的內(nèi)徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種異形PBN和石英組合坩堝，其特征在于：所述PBN坩堝活動(dòng)的設(shè)置在石英坩堝內(nèi)。
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