[發明專利]數據存儲系統及方法

在審

• 申請號: 202011047097.3
• 申請日: 2020-09-29
• 公開（公告）號: CN114329501A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 范光瑛;田育帥
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G06F21/60
• 分類號: G06F21/60;G06F21/62
• 代理公司: 北京市一法律師事務所 11654
• 代理人: 劉榮娟

本申請提供一種數據存儲系統及方法，所述系統包括：服務器，能夠遠程存儲數據，所述數據包括賬料信息以及工藝參數文件；設備自動化控制系統，從所述服務器獲取所述數據，所述設備自動化控制系統運行時：在物料到達生產設備后獲取物料信息；根據所述物料信息從所述服務器中獲取與所述物料信息對應的賬料信息；根據所述賬料信息從所述服務器中下載對應的工藝參數文件并指示生產設備生成所述工藝參數文件；根據所述物料信息、賬料信息以及工藝參數文件，向生產設備下達生產指令；在生產完成后指示生產設備移除所述下載的工藝參數文件。可以提高所述工藝參數文件的保密性和安全性，同時不會影響工藝參數文件的正常使用。

技術領域

本申請涉及半導體技術領域，尤其涉及一種數據存儲系統及方法。

背景技術

工藝參數文件是集成電路制造業生產加工時不可或缺的文件，而且工藝參數文件是集成電路制造業的核心知識產權，通常保存在生產設備端，對于訪問權限的管理非常薄弱。如果采用將文件離線保存在遠程服務器的方式，可以有效地阻止非授權的訪問，是一種最高效的機密保護方式。在如今技術節點競爭激烈的行業背景下，這種方式的廣泛采用是必要趨勢。

然而，目前工藝參數文件離線保存的需求與在線應用的必要性之間存在矛盾，因此需要一種系統化的解決方案。

發明內容

本申請提供一種數據存儲系統及方法，可以提高工藝參數文件的保密性和安全性，同時保證工藝參數文件的正常使用。

本申請的一個方面提供一種數據存儲系統，包括：服務器，能夠遠程存儲數據，所述數據包括賬料信息以及工藝參數文件；設備自動化控制系統，從所述服務器獲取所述數據，所述設備自動化控制系統運行時：在物料到達生產設備后獲取物料信息；根據所述物料信息從所述服務器中獲取與所述物料信息對應的賬料信息；根據所述賬料信息從所述服務器中下載對應的工藝參數文件并指示生產設備生成所述工藝參數文件；根據所述物料信息、賬料信息以及工藝參數文件，向生產設備下達生產指令；在生產完成后指示生產設備移除所述下載的工藝參數文件。

在本申請的一些實施例中，所述賬料信息包括所述物料加工需要的材料相關的數據。

在本申請的一些實施例中，所述數據存儲系統還包括：選擇模塊，用于選擇應用到所述數據存儲系統的工藝參數文件，并將選擇結果存儲到所述服務器。

在本申請的一些實施例中，所述設備自動化控制系統還包括：第一判斷模塊，根據所述服務器中存儲的選擇結果判斷是否下載工藝參數文件。

在本申請的一些實施例中，所述設備自動化控制系統還包括：第二判斷模塊，根據所述服務器中存儲的選擇結果判斷是否移除工藝參數文件。

在本申請的一些實施例中，所述工藝參數文件為多個，所述多個工藝參數文件的下載方式為逐個下載。

在本申請的一些實施例中，所述工藝參數文件包括主文件以及位于所述主文件中的子文件，所述多個工藝參數文件的下載方式為：先下載子文件，再下載主文件。

在本申請的一些實施例中，所述工藝參數文件為多個，所述多個工藝參數文件的移除方式為逐個移除。

在本申請的一些實施例中，所述工藝參數文件包括主文件以及位于所述主文件中的子文件，所述多個工藝參數文件的移除方式為：先移除子文件，再移除主文件。

本申請的另一個方面還提供一種數據存儲方法，包括，在物料到達生產設備后，通過數據存儲系統中的設備自動化控制系統：獲取物料信息；根據所述物料信息從服務器中獲取與所述物料信息對應的賬料信息，其中，所述服務器用于遠程存儲數據，所述數據包括所述賬料信息以及工藝參數文件；根據所述賬料信息從所述服務器中下載對應的工藝參數文件并指示生產設備生成所述工藝參數文件；根據所述物料信息、所述賬料信息以及所述工藝參數文件，向生產設備下達生產指令；在生產完成后指示生產設備移除所述下載的工藝參數文件。