[發(fā)明專利]一種位置多維度高適配鍵合工裝及使用方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011046454.4
• 申請(qǐng)日: 2020-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112185884A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊帆;聶要要;王亞松;鄺小樂(lè);許紅祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七二四研究所
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種位置多維度高適配鍵合工裝，其特征在于：包括工作臺(tái)，固定定位柱，伸縮定位卡簧和高適配傾斜調(diào)節(jié)系統(tǒng)；其中所述工作臺(tái)頂面開(kāi)設(shè)有多個(gè)固定定位柱，對(duì)角處設(shè)有伸縮定位卡簧，通過(guò)固定定位柱和伸縮定位卡簧夾緊需要鍵合的平面；平臺(tái)下方是高適配傾斜調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置多維度高適配鍵合工裝，其特征在于：所述固定定位柱的位置可以自由選擇，用于增加固定裝夾的尺寸范圍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置多維度高適配鍵合工裝，其特征在于：所述伸縮定位卡簧可以局部伸縮，用于局部調(diào)節(jié)裝夾的尺寸范圍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置多維度高適配鍵合工裝，其特征在于：所述平臺(tái)下方的高適配傾斜系統(tǒng)根據(jù)需要調(diào)節(jié)平臺(tái)的傾斜角度；通過(guò)機(jī)械齒輪結(jié)構(gòu)，用旋轉(zhuǎn)進(jìn)給桿的方式完成平臺(tái)傾斜角度設(shè)置。

5.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置多維度高適配鍵合工裝的使用方法，其特征在于：

1)、固定柱位置選取：根據(jù)需要夾持模塊的大小選擇定位柱的位置，并根據(jù)伸縮卡簧確定夾持力度；

2)、安裝工裝：將鍵合工裝安裝在模塊的下方；

3)、定位：通過(guò)鍵合設(shè)備的顯微鏡對(duì)微波模塊鍵合區(qū)域進(jìn)行定位；

4)、調(diào)整傾斜角并放入劈刀：通過(guò)調(diào)節(jié)夾具下方的旋鈕，改變平臺(tái)的傾斜角度，放入劈刀并調(diào)整鍵合區(qū)域達(dá)鍵合要求；

5)、鍵合：通過(guò)施加壓力、超聲、熱能將金絲兩端鍵合在對(duì)應(yīng)的鍵合點(diǎn)上；

6)、調(diào)整傾斜角并取出劈刀：通過(guò)調(diào)節(jié)工裝下方的旋鈕，恢復(fù)平臺(tái)的傾斜角度，達(dá)到劈刀自由取下的要求；

7)、拆卸模塊：調(diào)整伸縮卡簧力度，從工裝上取下模塊；完畢。