[發明專利]微機電傳感器及其制造方法

在審

• 申請號: 202011044408.0
• 申請日: 2020-09-28
• 公開（公告）號: CN112327002A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 季鋒;聞永祥;劉琛;賀錦
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭集成電路有限公司;杭州士蘭集昕微電子有限公司
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;B81B5/00;B81C1/00
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;馬陸娟

1.一種微機電傳感器，其中，包括：

襯底；

埋層，位于所述襯底上，所述埋層包括多個第一增高區域，所述埋層上設置有多個檢測電極和多個布線電極，所述多個檢測電極分別覆蓋所述多個第一增高區域；

扭擺臂，所述扭擺臂位于所述多個檢測電極和所述多個布線電極上方，所述扭擺臂與所述多個檢測電極和多個布線電極互不接觸；

扭擺和多個可動扭擺塊，所述扭擺和所述多個可動扭擺塊位于所述扭擺臂上方，所述多個可動扭擺塊通過所述扭擺臂與所述扭擺連接，所述多個可動扭擺塊和所述扭擺臂形成可動結構；

多個固定電極，所述多個固定電極位于所述扭擺臂上方；

支撐壁和保護壁，所述支撐壁位于所述埋層上，所述保護壁位于所述支撐壁上，所述支撐壁和所述保護壁圍成空腔，所述可動結構、所述扭擺、所述多個檢測電極、所述多個布線電極和所述多個固定電極位于所述空腔中。

2.根據權利要求1所述的微機電傳感器，其中，所述扭擺臂包括：第一制動結構，所述第一制動結構為所述可動結構提供左右方向的制動。

3.根據權利要求1所述的微機電傳感器，其中，所述扭擺臂包括：第一制動結構，所述第一制動結構為所述可動結構提供向上方向的制動。

4.根據權利要求1所述的微機電傳感器，其中，所述扭擺臂包括：第一制動結構，所述第一制動結構為所述可動結構提供左右方向和向上方向的制動。

5.根據權利要求1所述的微機電傳感器，其中，所述微機電傳感器還包括：

位于所述襯底上的第二制動結構，所述第二制動結構為所述可動結構提供向下方向的制動。

6.根據權利要求1所述的微機電傳感器，其中，所述扭擺臂包括：第一制動結構，所述微機電傳感器還包括：位于所述襯底上的第二制動結構，

所述第一制動結構和第二制動結構為所述可動結構提供上下左右方向的制動。

7.根據權利要求2、3、4和6中任一項所述的微機電傳感器，其中，所述第一制動結構包括：位于所述扭擺臂的第一端的第一制動彈簧和位于所述扭擺臂的第二端的第二制動彈簧。

8.根據權利要求5或6所述的微機電傳感器，其中，所述埋層還包括：多個第一凸起，所述多個布線電極分別覆蓋所述多個第一凸起。

9.根據權利要求8所述的微機電傳感器，其中，所述微機電傳感器還包括：位于所述襯底上的多個第二凸起，所述多個第一凸起分別覆蓋所述多個第二凸起。

10.根據權利要求9所述的微機電傳感器，其中，所述第二制動結構包括：多個凸起結構，所述多個凸起結構包括所述多個第二凸起、與所述多個第二凸起對應的所述多個第一凸起和所述多個布線電極。

11.根據權利要求1所述的微機電傳感器，其中，所述微機電傳感器還包括：位于所述襯底上的多個第二增高區域，所述多個第一增高區域分別覆蓋所述多個第二增高區域。

12.根據權利要求1所述的微機電傳感器，其中，所述多個檢測電極包括：第一檢測電極和第二檢測電極，所述多個固定電極包括：位于所述扭擺的兩側的第一固定電極和第二固定電極，

所述第一檢測電極和所述第二檢測電極分別與所述扭擺臂形成差動電容，所述第一固定電極和所述第二固定電極分別與所述扭擺臂形成差動電容。

13.根據權利要求1所述的微機電傳感器，其中，所述多個可動扭擺塊包括：位于所述扭擺的兩側的第一可動扭擺塊和第二可動扭擺塊，所述第一可動扭擺塊和所述第二可動扭擺塊的質量不等。

14.根據權利要求13所述的微機電傳感器，其中，所述第一可動扭擺塊包括多個子可動扭擺塊。