[發明專利]一種離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法

有效

• 申請號: 202011043620.5
• 申請日: 2020-09-28
• 公開（公告）號: CN112171205B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 戴一帆;彭小強;胡皓;關朝亮;杜春陽
• 申請（專利權）人: 湖南天創精工科技有限公司
• 主分類號: B23P15/00
• 分類號: B23P15/00
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 譚武藝

1.一種離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法，其特征在于，該方法包括：

1）針對鋁合金反射鏡采用單點金剛石車削進行面形誤差修正；

2）利用磁流變工藝對采用單點金剛石車削后的鋁合金反射鏡表面進行進一步的修形加工；

3）采用離子束拋光工藝對采用磁流變工藝修形加工后的鋁合金反射鏡表面進行進一步的修形加工，對磁流變工藝加工后的表面進行污染去除；

4）利用化學機械拋光工藝對鋁合金反射鏡表面進行拋光；

步驟3）的詳細步驟包括：

3.1）調整離子束拋光的工藝參數，設定離子能量、工作電流與加工距離，根據上述工藝參數，針對磁流變工藝加工后的鋁合金反射鏡表面進行離子束去除函數的制作；

3.2）根據去除函數計算得到均勻去除指定深度的加工速度v；

3.3）引入加工調整因子n以防止離子束單次加工熱變形，該加工調整因子n的取值范圍小于等于1，若加工速度v大于等于預設加工速度，則取加工調整因子n為1，確定進行掃描加工的掃描速度為加工速度v；若加工速度v小于預設加工速度，則調整加工調整因子n的大小，使得v/n大于等于預設加工速度，且確定進行掃描加工的掃描速度為v/n；

3.4）根據確定的掃描速度對磁流變加工后的鋁合金反射鏡表面迭代加工?1/n?次，其中??為下取整函數；

步驟3.2）中根據去除函數計算得到均勻去除指定深度的加工速度v具體是指根據去除函數采用正向卷積過程計算得到均勻去除指定深度的駐留時間矩陣和控制運動步距聯合求解的加工速度v。

2.根據權利要求1所述的離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法，其特征在于，步驟1）中采用單點金剛石車削進行面形誤差修正時的結束條件為面形誤差修正到RMS值優于第一預設閾值。

3.根據權利要求2所述的離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法，其特征在于，步驟2）中進行進一步的修形加工時的結束條件為面形誤差修正到RMS值優于第二預設閾值，所述第二預設閾值比第一預設閾值小。

4.根據權利要求3所述的離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法，其特征在于，所述第二預設閾值為10nm。

5.根據權利要求3所述的離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法，其特征在于，所述第一預設閾值為100nm。

6.根據權利要求1所述的離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法，其特征在于，步驟3.1）中調整離子束拋光的工藝參數時，設定離子束的能量為800eV，工作距離為50mm，工作氣體為氬氣。

7.根據權利要求1所述的離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法，其特征在于，步驟3.4）中根據確定的掃描速度對磁流變加工后的鋁合金反射鏡表面迭代加工?1/n?次時，單次迭代間隔指定的時間。

8.根據權利要求1所述的離子束輔助的鋁合金反射鏡加工方法，其特征在于，步驟4）之后還包括檢測檢測鋁合金反射鏡表面的面形與粗糙度的步驟，若滿足面形誤差RMS小于預設閾值、且表面粗糙度小于預設閾值，則判定完成鋁合金反射鏡加工；否則，跳轉執行步驟2）繼續進行加工。