[發明專利]一種液態金屬制備柔性電子/量子線路的方法有效
| 申請號： | 202011041537.4 | 申請日： | 2020-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN112195441B | 公開（公告）日： | 2022-06-28 |
| 發明（設計）人： | 劉宜偉;王盛丁;李潤偉;范煒 | 申請（專利權）人： | 中國科學院寧波材料技術與工程研究所 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/20;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州天勤知識產權代理有限公司 33224 | 代理人： | 劉誠午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 液態 金屬 制備 柔性 電子 量子 線路 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種液態金屬制備柔性電子/量子線路的方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)利用光刻技術在柔性襯底上制備電極，再將柔性襯底沿著電極方向拉伸；柔性襯底的拉伸比例為50％～100％；
(2)采用真空熱蒸發在步驟(1)拉伸后的柔性襯底表面沉積液態金屬薄膜；所述真空熱蒸發時間為1min～5min；
(3)在真空條件下，拉伸后的柔性襯底恢復原長，液態金屬薄膜的液態金屬球沿拉伸方向排列形成電子線路；或，
在空氣條件下，拉伸后的柔性襯底恢復原長，液態金屬薄膜的液態金屬球沿拉伸方向排列形成量子線路；
所述電子線路或量子線路的線寬為500nm～5μm；所述電子線路和量子線路的線間距為1～3μm。
2.根據權利要求1所述的液態金屬制備柔性電子/量子線路的方法，其特征在于，所述柔性襯底包括PDMS、PU、Ecoflex、SEBS中任一種。
3.根據權利要求1所述的液態金屬制備柔性電子/量子線路的方法，其特征在于，所述液態金屬包括Ga-In-Sn合金、Ga-In合金、Ga中的一種或者多種。
4.一種根據權利要求1～3任一項所述的方法制備的柔性電子/量子線路。
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