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[發(fā)明專利]一種槽棒自動拋光裝置在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202011039858.0 申請日: 2020-09-28
公開(公告)號: CN112142307A 公開(公告)日: 2020-12-29
發(fā)明(設(shè)計)人: 吳靜立 申請(專利權(quán))人: 遼寧拓邦鴻基半導(dǎo)體材料有限公司
主分類號: C03B29/00 分類號: C03B29/00
代理公司: 沈陽工匠智誠知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 21256 代理人: 于婷婷
地址: 113006 遼寧*** 國省代碼: 遼寧;21
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 自動 拋光 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種槽棒自動拋光裝置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上固定安裝有石墨板(2),所述底座(1)上且位于石墨板(2)一側(cè)固定安裝有X軸滑臺(3),所述X軸滑臺(3)上固定安裝有Y軸滑臺(4),所述Y軸滑臺(4)上,所述Y軸滑臺(4)上固定安裝有Z軸滑臺(5),所述Z軸滑臺(5)上固定安裝有火焰噴燈(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種槽棒自動拋光裝置,其特征在于,所述X軸滑臺(3)、Y軸滑臺(4)以及Z軸滑臺(5)均為電動滑軌,所述Y軸滑臺(4)固定安裝于X軸滑臺(3)移動端上,所述Z軸滑臺(5)固定安裝于Y軸滑臺(4)移動端上,所述火焰噴燈(6)固定安裝于Z軸滑臺(5)移動端上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種槽棒自動拋光裝置,其特征在于,所述X軸滑臺(3)、Y軸滑臺(4)以及Z軸滑臺(5)的移動端與X軸滑臺(3)、Y軸滑臺(4)以及Z軸滑臺(5)本體之間固定安裝有拖鏈(8)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種槽棒自動拋光裝置,其特征在于,所述X軸滑臺(3)、Y軸滑臺(4)以及Z軸滑臺(5)分別通過導(dǎo)線與外接控制系統(tǒng)電控連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種槽棒自動拋光裝置,其特征在于,所述Z軸滑臺(5)移動端與火焰噴燈(6)之間通過螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種槽棒自動拋光裝置,其特征在于,所述火焰噴燈(6)輸入端上固定安裝有氫氧氣接口(7)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種槽棒自動拋光裝置,其特征在于,所述石墨板(2)與底座(1)之間通過螺紋連接,所述石墨板(2)上固定安裝有若干結(jié)構(gòu)相同的擋板(9),若干所述擋板(9)之間相互平行。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種槽棒自動拋光裝置,其特征在于,所述底座(1)與X軸滑臺(3)之間通過螺紋連接。

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