[發(fā)明專利]翹曲檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011038861.0
• 申請(qǐng)日: 2020-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112325784B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李杰;潘江帆;黃書(shū)娟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州立景創(chuàng)新科技有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/16
• 分類號(hào): G01B11/16;G01B11/24
• 代理公司: 北京市立康律師事務(wù)所 11805
• 代理人: 梁揮;孟超

1.一種翹曲檢測(cè)方法，通過(guò)翹曲檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)待測(cè)物的表面，所述表面具有不同高度的多個(gè)表面區(qū)域，所述翹曲檢測(cè)設(shè)備包含干涉感測(cè)裝置、演算裝置及用于固持所述待測(cè)物的載臺(tái)，所述干涉感測(cè)裝置包含白光光源組件、分光元件、干涉組件及感光組件，該感光組件包含多個(gè)感測(cè)區(qū)域，其特征在于，所述翹曲檢測(cè)方法包含：

驅(qū)動(dòng)所述干涉組件與所述載臺(tái)沿Z軸方向彼此相對(duì)移動(dòng)，供所述感光組件輸出各該感測(cè)區(qū)域所分別對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)表面的多組干涉條紋，其中所述Z軸方向垂直于水平面，所述載臺(tái)具有載臺(tái)平面，且所述載臺(tái)平面相對(duì)于所述水平面呈銳角；

所述演算裝置計(jì)算出所述多組干涉條紋的多個(gè)條紋對(duì)比度值，并找出所述干涉組件與各該感測(cè)區(qū)域內(nèi)具有最大的所述條紋對(duì)比度值的所述干涉條紋相對(duì)應(yīng)的初始Z軸位置；

驅(qū)動(dòng)所述干涉組件的干涉物鏡自所述初始Z軸位置沿所述Z軸方向移動(dòng)，供所述感光組件輸出對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)表面區(qū)域的所述多組干涉條紋；以及

所述演算裝置獲取所述干涉物鏡與所述多個(gè)表面區(qū)域的多個(gè)零光程位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)位移數(shù)據(jù)，據(jù)以計(jì)算出所述待測(cè)物的翹曲度數(shù)據(jù)。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，更包含：

所述翹曲檢測(cè)設(shè)備通過(guò)旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述載臺(tái)平面相對(duì)于所述水平面旋轉(zhuǎn)至所述銳角。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述載臺(tái)平面與所述水平面間的所述銳角的范圍為大于0度而小于或等于0.6度。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，于驅(qū)動(dòng)所述干涉組件在所述Z軸方向上的多個(gè)Z軸位置間移動(dòng)的步驟前，還包含：

設(shè)定對(duì)應(yīng)于所述待測(cè)物的模塊高度，并驅(qū)動(dòng)所述干涉組件至對(duì)應(yīng)于所述模塊高度的預(yù)設(shè)位置。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，于驅(qū)動(dòng)所述干涉組件在所述Z軸方向上的多個(gè)Z軸位置間移動(dòng)的步驟前，還包含：

驅(qū)動(dòng)所述干涉組件與所述載臺(tái)沿所述Z軸方向彼此相對(duì)移動(dòng)，供所述感光組件輸出對(duì)應(yīng)于所述載臺(tái)平面的多組校正干涉條紋；

所述演算裝置計(jì)算出所述多組校正干涉條紋的多個(gè)校正條紋對(duì)比度值，并找出所述干涉組件與具有最大的所述校正條紋對(duì)比度值的所述校正干涉條紋相對(duì)應(yīng)的校正Z軸位置；

驅(qū)動(dòng)所述干涉組件的干涉物鏡自所述校正Z軸位置沿所述Z軸方向移動(dòng)，供所述感光組件輸出對(duì)應(yīng)于多個(gè)載臺(tái)平面區(qū)域的所述多組校正干涉條紋；以及

所述演算裝置獲取所述干涉物鏡位于所述多個(gè)Z軸位置的多個(gè)位移數(shù)據(jù)并獲取所述干涉物鏡于所述多個(gè)載臺(tái)平面區(qū)域的多個(gè)零光程校正位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)校正位移數(shù)據(jù)，并依據(jù)所述多個(gè)位移數(shù)據(jù)與所述多個(gè)校正位移數(shù)據(jù)，計(jì)算出所述待測(cè)物的翹曲度數(shù)據(jù)。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，于驅(qū)動(dòng)所述干涉組件與所述載臺(tái)沿所述Z軸方向彼此相對(duì)移動(dòng)的步驟前，還包含：

驅(qū)動(dòng)所述干涉組件至對(duì)應(yīng)于所述載臺(tái)平面的校正高度位置。