[發(fā)明專(zhuān)利]渦輪分子泵和包括該分子泵的復(fù)合分子泵

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011037619.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112160919A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝元華;謝天意;劉坤;郝明;陳樹(shù)雷
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東北大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): F04D19/04
• 分類(lèi)號(hào): F04D19/04;F04D29/38;F04D29/54;F04D29/64
• 代理公司: 長(zhǎng)沙楚為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43217
• 代理人: 陶祥琲

1.一種渦輪分子泵，其特征在于，所述渦輪分子泵包括：

殼體，所述殼體具有進(jìn)氣口和排氣口；

定子部件，設(shè)置在所述殼體內(nèi)，所述定子部件包括定子本體及間隔設(shè)置在所述定子本體上的環(huán)形定子葉片排，且所述定子葉片排中葉片的第一端傾斜設(shè)置；

轉(zhuǎn)子部件，設(shè)置在所述殼體內(nèi)，所述轉(zhuǎn)子部件包括旋轉(zhuǎn)軸、安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸上的轉(zhuǎn)子本體及間隔設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子本體上的環(huán)形轉(zhuǎn)子葉片排，所述轉(zhuǎn)子葉片排中的葉片和所述定子葉片排中的葉片沿徑向方式交替排布并具有一定間隙以形成壓縮氣體的第一排氣通道，朝向所述定子葉片排的所述轉(zhuǎn)子本體表面沿徑向方向向上傾斜；

驅(qū)動(dòng)部件，所述驅(qū)動(dòng)部件的輸出端與所述旋轉(zhuǎn)軸連接以驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)子本體轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子葉片排中的葉片在所述轉(zhuǎn)子本體上具有20°-40°的傾角，且該傾角角度沿所述轉(zhuǎn)子本體的徑向方向逐漸減少。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子葉片排中葉片的弦長(zhǎng)為1-2mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子葉片排中葉片的第一端水平設(shè)置，且所述轉(zhuǎn)子葉片排中的葉片長(zhǎng)度沿所述轉(zhuǎn)子本體的徑向方向逐漸減小。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子本體表面的傾斜角度與所述定子葉片排中葉片的第一端傾斜角度相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述定子葉片排中葉片長(zhǎng)度沿所述定子本體的徑向方向逐漸減小，且每一排所述定子葉片排中的葉片長(zhǎng)度相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于，所述殼體包括第一殼體和第二殼體，所述第一殼體的空腔與所述第二殼體的空腔連通以形成容納所述定子部件和所述轉(zhuǎn)子部件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的渦輪分子泵，其特征在于，背離所述定子本體的所述轉(zhuǎn)子本體表面與所述第二殼體的內(nèi)表面之間具有間隙，且所述第二殼體的內(nèi)表面上設(shè)置有第二螺旋槽。

9.一種復(fù)合分子泵，其特征在于，包括：

權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵；

牽引分子泵，位于所述殼體內(nèi)，所述牽引分子泵包括：

牽引定子；

牽引轉(zhuǎn)子，套設(shè)在所述牽引定子外，并安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸上以隨所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，所述牽引轉(zhuǎn)子的第一側(cè)面與所述殼體的表面具有之間具有間隙以形成與所述第一排氣通道連通的第二排氣通道，所述牽引轉(zhuǎn)子的第二側(cè)面與所述牽引定子的表面之間具有間隙以形成分別與所述第二排氣通道和所述排氣口連通的第三排氣通道。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的復(fù)合分子泵，其特征在于，所述牽引定子上設(shè)置有第一螺旋槽。