[發明專利]一種靜電偏轉裝置及其偏轉方法

在審

• 申請號: 202011037411.X
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN112086332A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 賈雪峰;孟祥良;孫占峰
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147;H01J37/28
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 安志嬌

1.一種靜電偏轉裝置，其特征在于，包括：

靜電偏轉極板，所述靜電偏轉極板包括：第一極板組和第二極板組，所述第一極板組和所述第二極板組其二者向電子束施加相反的作用力。

2.如權利要求1所述的靜電偏轉裝置，其特征在于，還包括：

極板安裝架，所述極板安裝架具有供電子束通過的通過腔；所述第一極板組和所述第二極板組分別布置在所述極板安裝架其長度方向上的兩側。

3.如權利要求2所述的靜電偏轉裝置，其特征在于，

所述第一極板組包括：沿所述極板安裝架其周向方向布置的至少兩個第一極板；

所述第二極板組包括：沿所述極板安裝架其周向方向布置的至少兩個第二極板。

4.如權利要求3所述的靜電偏轉裝置，其特征在于，

至少兩個所述第一極板沿所述極板安裝架其周向方向均勻布置；

至少兩個所述第二極板沿所述極板安裝架其周向方向均勻布置。

5.如權利要求2至4中任一項所述的靜電偏轉裝置，其特征在于，

所述極板安裝架包括：環形絕緣體，以及設置在所述環形絕緣體其中空腔體內腔壁上的導電層；所述靜電偏轉極板設置在所述環形絕緣體上，且所述靜電偏轉極板穿過所述導電層延伸至所述中空腔體內。

6.如權利要求5所述的靜電偏轉裝置，其特征在于，所述環形絕緣體其周向方向上設置有用于容置所述靜電偏轉極板的容置孔。

7.如權利要求6所述的靜電偏轉裝置，其特征在于，所述環形絕緣體端部設置有用于固定所述靜電偏轉極板位置的定位部。

8.一種電子束掃描裝置，其特征在于，包括：

權利要求1至7中任一項所述的靜電偏轉裝置，以及電子源、聚光鏡、消像散器和物鏡。

9.一種靜電偏轉裝置的偏轉方法，應用于權利要求1－7任一項所述的靜電偏轉裝置，其特征在于，所述方法包括：

對所述第一極板和第二極板分別施加第一電壓和第二電壓；

經過第一極板的電子束在第一電壓作用下發生路徑偏轉，電子束沿第一軌跡偏轉至第二極板；

經過第二極板的電子束在第二電壓作用下發生路徑偏轉，電子束沿第二軌跡偏轉至待掃描樣品表面。

10.如權利要求9所述的偏轉方法，其特征在于，所述第一電壓和所述第二電壓的大小和幅值相同、方向相反。