[發(fā)明專利]三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理方法及其回收處理系統(tǒng)

有效

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• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN112251755B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李再強(qiáng);黃文濤;汪前程;張偉奇;梁民
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市祺鑫環(huán)保科技有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C25C1/12;C25C1/08;C25C7/00;C25C7/06
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 晏波

1.一種三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

向三氯化鐵蝕刻廢液中加入第一還原劑，以降低其氧化還原電位；其中，所述第一還原劑為鐵粉，所述三氯化鐵蝕刻廢液的氧化還原電位降低至300mV至350mV范圍內(nèi)；

對降低氧化還原電位的三氯化鐵蝕刻廢液進(jìn)行電解操作，在陰極沉積得到金屬銅，并得到脫銅后的電解液；其中，以鍍層鈦板為陽極、鈦板為陰極，在電流密度為200A/m²-300A/m²的條件下進(jìn)行電解操作；

向脫銅后的電解液中加入第二還原劑，以將電解液中的鎳離子還原，得到金屬鎳；其中，所述第二還原劑為鐵粉或水合肼；

向脫銅后的電解液中加入第二還原劑，以將電解液中的鎳離子還原，得到金屬鎳的步驟之后，還包括：

向脫鎳后的三氯化鐵蝕刻廢液中通入電解操作所產(chǎn)生的氯氣，得到再生蝕刻子液；

將所述再生蝕刻子液回用至蝕刻線工序進(jìn)行蝕刻操作。

2.如權(quán)利要求1所述的三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理方法，其特征在于，向脫銅后的電解液中加入第二還原劑，以將電解液中的鎳離子還原，得到金屬鎳的步驟中，包括：

檢測脫銅后的電解液中鎳離子的濃度，并根據(jù)鎳離子的濃度確定相應(yīng)的第二還原劑的加入量；

向脫銅后的電解液中加入相應(yīng)加入量的第二還原劑，以將電解液中的鎳離子還原，得到金屬鎳。

3.如權(quán)利要求1至2中任一項(xiàng)所述的三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理方法，其特征在于，向三氯化鐵蝕刻廢液中加入第一還原劑，以降低其氧化還原電位的步驟之前，還包括：

將三氯化鐵蝕刻廢液進(jìn)行過濾操作，以除去其中的固體雜質(zhì)；

和/或，所述對降低氧化還原電位的三氯化鐵蝕刻廢液進(jìn)行電解操作的步驟之前，還包括：

將降低氧化還原電位的三氯化鐵蝕刻廢液進(jìn)行過濾操作，以除去其中的固體雜質(zhì)。

4.一種三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理系統(tǒng)，應(yīng)用于如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理方法，其特征在于，包括：

調(diào)節(jié)桶，所述調(diào)節(jié)桶通過管道連通于三氯化鐵蝕刻線，用于加入第一還原劑以降低其氧化還原電位；

電解槽，所述電解槽通過管道連通于所述調(diào)節(jié)桶，用于電解回收金屬銅；以及

鎳置換桶，所述鎳置換桶通過管道連通于所述電解槽，用于加入第二還原劑以置換得到金屬鎳。

5.如權(quán)利要求4所述的三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理系統(tǒng)，其特征在于，所述三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理系統(tǒng)還包括：

溶解吸收缸，所述溶解吸收缸通過管道連通于所述鎳置換桶和所述電解槽的陽極室；和

子液添加缸，所述蝕刻添加缸通過管道連通于所述溶解吸收缸和所述三氯化鐵蝕刻線。

6.如權(quán)利要求5所述的三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理系統(tǒng)，其特征在于，所述三氯化鐵蝕刻廢液的回收處理系統(tǒng)還包括：

再生液儲存桶，按照液體流通的方向，所述再生液儲存桶設(shè)于所述鎳置換桶和所述溶解吸收缸之間，并通過管道連通所述鎳置換桶和溶解吸收缸；和

子液儲存桶，按照液體流通的方向，所述子液儲存桶設(shè)于所述溶解吸收缸和所述蝕刻添加缸之間，并通過管道連通所述溶解吸收缸和所述蝕刻添加缸。