[發明專利]一種激光直寫能量校正方法及裝置在審
| 申請號： | 202011034976.2 | 申請日： | 2020-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN112286006A | 公開（公告）日： | 2021-01-29 |
| 發明（設計）人： | 陳國軍;吳景舟;馬迪 | 申請（專利權）人： | 江蘇迪盛智能科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215100 江蘇省蘇州市吳*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 激光 能量 校正 方法 裝置 | ||
1.一種激光直寫能量校正方法，其特征在于，包括：
獲取經微鏡陣列反射后激光光束在探測器上形成的圖像；
根據所述圖像獲取所述微鏡陣列中至少部分區域中微鏡的亮度值；
根據所述至少部分區域中微鏡的亮度值獲取掃描方向上每一列所述微鏡的亮度積分值；
根據每一列所述微鏡的亮度積分值對所述微鏡陣列進行能量校正。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在獲取經微鏡陣列反射后激光光束在探測器上形成的圖像之前，還包括：
控制所述探測器的曝光時間小于預設曝光時間。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據每一列所述微鏡的亮度積分值對所述微鏡陣列進行能量校正，包括：
獲取所述亮度積分值中的最小值；
若一列所述微鏡的所述亮度積分值大于所述最小值，則選取一列所述微鏡中的第一部分微鏡，使一列所述微鏡中除第一部分微鏡外的所有微鏡的亮度積分值與所述最小值之間的差值小于預設差值；
在激光直寫光刻時，控制所述第一部分微鏡始終不工作，一列所述微鏡中除第一部分微鏡外的所有微鏡處于正常工作狀態。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在獲取經微鏡陣列反射后激光光束在探測器上形成的圖像之前，還包括：
在所述微鏡陣列與所述探測器之間的光路上設置亮度衰減片，所述亮度衰減片用于降低探測器接收到的激光光束的光亮度。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，多個所述微鏡行列排布為矩陣，多個所述微鏡的矩陣列方向平行于所述掃描方向。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，多個所述微鏡行列排布為矩陣，多個所述微鏡的矩陣列方向與所述掃描方向之間的夾角大于0°且小于90°。
7.一種激光直寫能量校正裝置，其特征在于，包括：
激光器，發射激光光束；
微鏡陣列，包括陣列排布的多個微鏡，反射所述激光光束；
探測器，獲取經所述微鏡陣列反射后激光光束在探測器上形成的圖像；
控制器，根據所述圖像獲取所述微鏡陣列中至少部分區域中微鏡的亮度值，根據所述至少部分區域中微鏡的亮度值獲取掃描方向上每一列所述微鏡的亮度積分值，根據每一列所述微鏡的亮度積分值對所述微鏡陣列進行能量校正。
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