[發明專利]一種晶圓去靜電和清洗方法

有效

• 申請號: 202011026941.4
• 申請日: 2020-09-26
• 公開（公告）號: CN112235926B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;童建
• 申請（專利權）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H05F3/06
• 分類號: H05F3/06;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;H01L21/02
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.一種晶圓去靜電和清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：

打開清洗槽(2)上的蓋體(3)，擺動升降組件(5)升到最高端，將晶圓盒置于晶圓盒支撐架(4)上，擺動升降組件(5)帶動晶圓盒支撐架(4)下降到清洗槽(2)內，開啟設置在清洗槽(2)上方兩側的靜電消除器(6)，擺動升降組件(5)驅動晶圓盒支撐架(4)擺動，同時開始抽風，靜電去除完畢后，關閉抽風口和靜電消除器(6)，晶圓盒支撐架(4)停止擺動，蓋上蓋體(3)，向清洗槽(2)注入水或者清洗液，晶圓清洗完畢后，排空清洗槽(2)內的水或者清洗液，完成清洗；

所述清洗槽(2)底部設置有抽風口，所述清洗槽(2)側面還設置有抽風口，且抽風口設置高度低于晶圓位于清洗槽內時的最低點，靜電消除器(6)工作時，抽風口開始抽風。

2.根據權利要求1所述的晶圓去靜電和清洗方法，其特征在于，所述晶圓盒支撐架(4)的擺動角度為20°-25°。

3.根據權利要求1所述的晶圓去靜電和清洗方法，其特征在于，所述蓋體(3)上設置有噴水口，蓋體上的噴水口在清洗槽(2)內的水或者清洗液浸沒晶圓前不停地向晶圓噴射水。

4.根據權利要求3所述的晶圓去靜電和清洗方法，其特征在于，所述蓋體(3)上設置有噴氣口，當晶圓清洗完畢，且清洗槽(2)內水或者清洗液排空后，由噴氣口噴出氣體以對晶圓進行干燥。

5.根據權利要求4所述的晶圓去靜電和清洗方法，其特征在于，所述氣體為氮氣。

6.根據權利要求1所述的晶圓去靜電和清洗方法，其特征在于，所述清洗槽(2)底部為中間底兩側高的斜面，斜面的傾斜角度為20-40°，抽風口沿著斜面設置。