[發(fā)明專利]一種板式PECVD設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011025958.8
• 申請(qǐng)日: 2020-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN112176325B
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龔俊;魏唯;周立平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類號(hào): C23C16/509
• 分類號(hào): C23C16/509;C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008
• 代理人: 徐好

1.一種板式PECVD設(shè)備，包括反應(yīng)腔體(1)，其特征在于：所述反應(yīng)腔體(1)內(nèi)設(shè)有加熱盤(3)，所述加熱盤(3)上設(shè)有屏蔽環(huán)(4)，加熱盤(3)外周設(shè)有下整流罩(5)，所述下整流罩(5)上方設(shè)有可升降的上整流罩(2)，所述上整流罩(2)內(nèi)側(cè)設(shè)有上電極(6)、勻氣塊(7)、以及位于上電極(6)與勻氣塊(7)之間的調(diào)節(jié)墊環(huán)，所述上電極(6)和勻氣塊(7)之間形成緩沖腔(8)，所述勻氣塊(7)上設(shè)有進(jìn)氣通道(9)，所述上電極(6)上均勻設(shè)置有多個(gè)出氣通道，上電極(6)通過所述勻氣塊(7)與射頻匹配器導(dǎo)通，所述反應(yīng)腔體(1)上設(shè)有傳片口(15)，所述上整流罩(2)處于高位時(shí)，所述傳片口(15)位于所述下整流罩(5)和與所述上整流罩(2)之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板式PECVD設(shè)備，其特征在于：所述反應(yīng)腔體(1)上設(shè)有反應(yīng)腔蓋(10)，所述勻氣塊(7)上設(shè)有上蓋(11)，勻氣塊(7)通過所述上蓋(11)與射頻匹配器導(dǎo)通，所述反應(yīng)腔蓋(10)位于所述上蓋(11)外周且兩者之間設(shè)有絕緣環(huán)(12)，反應(yīng)腔蓋(10)上設(shè)有升降機(jī)構(gòu)(13)，所述升降機(jī)構(gòu)(13)穿過反應(yīng)腔蓋(10)后與所述上整流罩(2)相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的板式PECVD設(shè)備，其特征在于：所述升降機(jī)構(gòu)(13)包括第一升降驅(qū)動(dòng)件(131)、安裝板(132)以及多根沿圓周方向布置的升降桿(133)，所述第一升降驅(qū)動(dòng)件(131)與所述安裝板(132)相連，所述升降桿(133)上端與安裝板(132)相連，下端穿過反應(yīng)腔蓋(10)后與上整流罩(2)相連，所述升降桿(133)外周設(shè)有可伸縮的第一密封管(134)，所述第一密封管(134)上端與所述安裝板(132)密封連接，下端與所述反應(yīng)腔蓋(10)密封連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板式PECVD設(shè)備，其特征在于：所述反應(yīng)腔蓋(10)上設(shè)有導(dǎo)向桿(135)，所述安裝板(132)上設(shè)有導(dǎo)向套(136)，所述導(dǎo)向套(136)套設(shè)于所述導(dǎo)向桿(135)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板式PECVD設(shè)備，其特征在于：所述緩沖腔(8)頂面為弧形結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的板式PECVD設(shè)備，其特征在于：所述反應(yīng)腔體(1)一側(cè)設(shè)有傳送腔體(14)，所述傳送腔體(14)上也設(shè)有傳片口(15)、且與反應(yīng)腔體(1)上的傳片口(15)之間設(shè)有隔離閥(16)，所述反應(yīng)腔體(1)下方設(shè)有頂片機(jī)構(gòu)(17)，所述傳送腔體(14)內(nèi)設(shè)有傳片機(jī)械手(18)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的板式PECVD設(shè)備，其特征在于：所述傳送腔體(14)內(nèi)設(shè)有導(dǎo)向滑軌(19)、主動(dòng)輪(20)、從動(dòng)輪(21)、以及繞設(shè)于主動(dòng)輪(20)和從動(dòng)輪(21)上的同步帶(22)，所述導(dǎo)向滑軌(19)上設(shè)有滑塊(23)，所述同步帶(22)和所述傳片機(jī)械手(18)均與所述滑塊(23)相連，所述傳送腔體(14)外設(shè)有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件(25)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件(25)通過磁流體密封軸(24)與所述主動(dòng)輪(20)相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的板式PECVD設(shè)備，其特征在于：所述頂片機(jī)構(gòu)(17)包括第二升降驅(qū)動(dòng)件(171)、頂板(172)以及多根沿圓周方向布置的頂桿(173)，所述第二升降驅(qū)動(dòng)件(171)與所述頂板(172)相連，所述頂桿(173)下端與頂板(172)相連，上端穿設(shè)于所述加熱盤(3)中，頂桿(173)外周設(shè)有可伸縮的第二密封管(174)，所述第二密封管(174)下端與所述頂板(172)密封連接。