[發明專利]一種用于真空鍍膜設備的簡易格柵裝置在審
| 申請號: | 202011024209.3 | 申請日: | 2020-09-25 |
| 公開(公告)號: | CN112176311A | 公開(公告)日: | 2021-01-05 |
| 發明(設計)人: | 李國強;舒逸;劉光斗;李贊 | 申請(專利權)人: | 湖南玉豐真空科學技術有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/56 | 分類號: | C23C14/56;C23C14/54;C23C16/54;C23C16/52 |
| 代理公司: | 湖南格創知識產權代理事務所(普通合伙) 43263 | 代理人: | 張文 |
| 地址: | 411100 湖南省*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 真空鍍膜 設備 簡易 格柵 裝置 | ||
1.一種用于真空鍍膜設備的簡易格柵裝置,其特征在于:包括固定板、拉伸氣缸、活動桿、活動板,所述固定板固定在真空室抽氣口處,在固定板上沿垂直方向設置有多個開口,所述拉伸氣缸固定在真空室抽氣口的頂板上,拉伸氣缸的活塞桿端通過連接套與活動桿連接,所述活動桿延伸至真空室抽氣口內,在活動桿上固定有多塊活動板,所述活動板與固定板上的開口相匹配,拉伸氣缸通過活動桿帶動活動板上下移動,從而實現對固定板上的開口的封閉和開啟。
2.如權利要求1所述的一種用于真空鍍膜設備的簡易格柵裝置,其特征在于:在活動桿的下部設置有導向槽,在真空室抽氣口的底板上固定有與活動桿上的導向槽相配合的導向塊。
3.如權利要求2所述的一種用于真空鍍膜設備的簡易格柵裝置,其特征在于:所述導向塊通過螺栓與真空室抽氣口底板緊固連接。
4.如權利要求1所述的一種用于真空鍍膜設備的簡易格柵裝置,其特征在于:所述固定板通過設置在四周的螺栓與真空室抽氣口壁固定連接。
5.如權利要求1所述的一種用于真空鍍膜設備的簡易格柵裝置,其特征在于:在拉伸氣缸的活塞桿末端設置有導向套。
6.如權利要求1所述的一種用于真空鍍膜設備的簡易格柵裝置,其特征在于:所述固定板為一體成型,所述活動板采用高強度不銹鋼材質。
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