[發(fā)明專利]提高半導(dǎo)體測試機同步觸發(fā)實時性的裝置和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011021916.7
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN112255533A
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 凌云;鄔剛
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州加速科技有限公司
• 主分類號: G01R31/317
• 分類號: G01R31/317
• 代理公司: 北京市君合律師事務(wù)所 11517
• 代理人: 王再芊;畢長生

本發(fā)明公開了一種提高半導(dǎo)體測試機同步觸發(fā)實時性的裝置和方法。根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案，提高半導(dǎo)體測試機同步觸發(fā)實時性的裝置包括通過接口總線連接的主控計算機和至少兩個測試資源板卡。任意兩個測試資源板卡之間均建立有同步觸發(fā)通道。每個同步觸發(fā)通道具有輸入/輸出兩個獨立端口。輸入端口用于接收同步觸發(fā)信號，輸出端口用于發(fā)送同步觸發(fā)信號。本發(fā)明能夠滿足半導(dǎo)體芯片/晶圓測試時同步觸發(fā)的實時性和精度要求，提升半導(dǎo)體芯片/晶圓測試設(shè)備的性能和價值。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體自動化測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種提高半導(dǎo)體測試機同步觸發(fā)實時性的裝置和方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體自動化測試設(shè)備需要系統(tǒng)內(nèi)的各種測試資源板卡之間相互配合同步工作以便完成測試信號的發(fā)生、待測信號的測量、待測芯片/晶圓的數(shù)據(jù)輸入、待測芯片/晶圓的數(shù)據(jù)采集、待測信號的數(shù)據(jù)處理計算等工作。由于復(fù)雜的工作流程以及不同的測試需求，測試資源板卡間的功能同步觸發(fā)的精度要求和觸發(fā)路由是不同的。在編寫測試程序時，需要針對不同的需求，編制不同的觸發(fā)同步程序來適配不同的同步觸發(fā)要求。現(xiàn)有的技術(shù)方案一般采用單中心控制節(jié)點的集中管理方式，系統(tǒng)內(nèi)的所有同步觸發(fā)控制均需要通過中心控制節(jié)點來完成。

采用單中心控制節(jié)點的集中管理方式，當(dāng)需要測試資源板卡間同步觸發(fā)工作時，用戶先要對中心控制節(jié)點進行配置，如同步的發(fā)起方、接收方、同步的條件信號等信息。待同步發(fā)起端發(fā)起同步請求后，由中心控制節(jié)點來通知需要同步的接收方。這樣的工作方式在實時性能和并發(fā)同步觸發(fā)上都存在問題。由于中心控制節(jié)點的處理延時，直接決定了測試資源板卡間的觸發(fā)同步實時性能，同時單中心的控制節(jié)點也容易造成并發(fā)同步和并發(fā)觸發(fā)時同步信號/觸發(fā)信號的丟失問題。隨著半導(dǎo)體芯片/晶圓的工作頻率的不斷提升，芯片/晶圓的測試在信號的同步延時上的要求也越來越高，傳統(tǒng)的單中心控制同步觸發(fā)方式已經(jīng)不能滿足半導(dǎo)體芯片/晶圓測試的發(fā)展需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明公開了一種提高半導(dǎo)體測試機同步觸發(fā)實時性的裝置和方法，能夠滿足半導(dǎo)體芯片/晶圓測試時同步觸發(fā)的實時性和精度要求，提升半導(dǎo)體芯片/晶圓測試設(shè)備的性能和價值。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種提高半導(dǎo)體測試機同步觸發(fā)實時性的裝置，包括通過接口總線連接的主控計算機和至少兩個測試資源板卡，其特征在于：任意兩個測試資源板卡之間均建立有同步觸發(fā)通道，每個所述同步觸發(fā)通道具有輸入/輸出兩個獨立端口，其中所述輸入端口用于接收同步觸發(fā)信號，所述輸出端口用于發(fā)送同步觸發(fā)信號。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述任意兩個測試資源板卡間的同步觸發(fā)通道等長布線。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述每個同步觸發(fā)通道的輸入/輸出端口均設(shè)置有可調(diào)延時電路。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述可調(diào)延時電路的延時參數(shù)為皮秒級。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述主控計算機用于設(shè)置同步觸發(fā)網(wǎng)絡(luò)內(nèi)同步觸發(fā)傳輸路由和同步觸發(fā)處理事件，并且控制各個測試資源板卡進行并發(fā)同步觸發(fā)。

一種提高半導(dǎo)體測試機同步觸發(fā)實時性的方法，其特征在于，所述方法包括：

在半導(dǎo)體測試機的任意兩個測試資源板卡之間建立同步觸發(fā)通道，每個所述同步觸發(fā)通道具有輸入/輸出兩個獨立端口，其中所述輸入端口用于接收同步觸發(fā)信號，所述輸出端口用于發(fā)送同步觸發(fā)信號；

利用半導(dǎo)體測試機的主控計算機編制同步觸發(fā)軟件程序，設(shè)置同步觸發(fā)網(wǎng)絡(luò)內(nèi)同步觸發(fā)傳輸路由和同步觸發(fā)處理事件；

主控計算機根據(jù)同步觸發(fā)軟件程序控制各個測試資源板卡進行并發(fā)同步觸發(fā)。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，在半導(dǎo)體測試機的任意兩個測試資源板卡之間建立同步觸發(fā)通道時，對所有同步觸發(fā)通道等長布線。