[發明專利]物理失效分析樣品及其制備方法

有效

• 申請號: 202011018705.8
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112179931B
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: 徐靜
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: G01N23/2251
• 分類號: G01N23/2251
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 高天華;張穎玲

1.一種物理失效分析樣品的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

提供待分析結構；其中，所述待分析結構包括相對設置的第一表面和第二表面，失效區域位于所述第一表面和所述第二表面之間；

在所述待分析結構的第一表面形成凹槽；其中，所述凹槽包括第一側壁和第二側壁，所述第一側壁覆蓋所述失效區域；

在所述第一側壁與所述失效區域之間的相對距離小于預設距離時，轟擊所述第二側壁的組成粒子；其中，被轟擊的至少部分所述組成粒子濺射至所述第一側壁，形成覆蓋所述失效區域的第一保護層。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一側壁與所述第二側壁相對設置。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在所述相對距離大于或等于所述預設距離時，修整所述凹槽第一側壁的形貌，以減小所述相對距離。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在形成所述凹槽后，檢測所述第一側壁，獲得檢測圖像；

當所述檢測圖像中包括指示所述失效區域的指示信息時，確定所述相對距離小于預設距離。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：當所述檢測圖像中包括指示所述失效區域的指示信息時，根據所述檢測圖像，確定所述失效區域與所述第一側壁的相對位置關系；

所述在所述第一側壁與所述失效區域之間的相對距離小于預設距離時，轟擊所述第二側壁的組成粒子，包括：根據所述相對位置關系，確定轟擊的所述第二側壁的區域。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

根據所述相對位置關系，在所述第一表面形成覆蓋所述失效區域的第二保護層。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

形成所述第一保護層和所述第二保護層后，減薄所述待分析結構，形成具有預設厚度的樣品；其中，所述失效區域位于所述樣品內。

8.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述第二保護層的組成材料包括：硅化物、金屬、或者碳。

9.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述檢測所述第一側壁，包括：

在預設電壓下，采用掃描電子顯微鏡檢測所述第一側壁；其中，所述預設電壓大于或等于10千伏。

10.一種物理失效分析樣品，其特征在于，采用如權利要求1至9任一項所述的方法制備而成。