[發明專利]一種用于面蒸發源的冷卻緩存室及驅動方法

在審

• 申請號: 202011017203.3
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112095078A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 黃逸臻;張夢姿;孫玉俊
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

本發明公布一種用于面蒸發源的冷卻緩存室及驅動方法，包括CDA系統、冷卻室、冷卻裝置和可伸縮夾持裝置；所述CDA系統通過通入管道連接所述冷卻室，所述CDA系統用于通入壓縮氣體來對金屬薄片降溫；所述冷卻室還設置有排出管道，所述排出管道用于排出CDA系統通入的壓縮氣體；所述冷卻室設置有閥門，所述可伸縮夾持裝置和所述冷卻裝置設置在所述冷卻室中；所述可伸縮夾持裝置用于夾取金屬薄片到冷卻裝置上；所述冷卻裝置包括下冷卻板，所述下冷卻板用于承載金屬薄片并對其冷卻上述技術方案可以確保蒸鍍膜層的厚度和膜層的均勻性，而且還可以延長金屬薄片的使用壽命。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種用于面蒸發源的冷卻緩存室及驅動方法。

背景技術

有機發光二極管(簡稱OLED)在固體照明等領域具有廣闊的應用前景，已有的OLED顯示裝置一般是采用真空蒸鍍的方式成膜，面蒸發源的研究開發為真空蒸鍍工藝的蒸發源開發錦上添花。

面蒸發源蒸鍍的步驟是在真空環境下，首先在面源蒸鍍腔中用點/線/面蒸發源將金屬薄片蒸鍍上有機材料薄膜，如圖3中的a所示。然后在面源倒置腔中把鍍上有機薄膜的金屬薄片進行倒置，如圖3中的b所示。之后傳送到蒸發源蒸鍍腔，蒸發源蒸鍍腔的腔體中有先從基板裝載腔和遮罩保存腔傳送過來的基板和遮罩板，繼而加熱鍍上有機材料的金屬面薄片，使有機物蒸氣通過遮罩板蒸鍍到基板上，如圖3中的c所示。最后將金屬薄片傳送到冷卻室進行冷卻，如圖3中的d序號所示。蒸鍍好的金屬薄片送到基板保存腔，如圖3中的e所示。

在金屬薄片(如基板、晶圓等)鍍上蒸鍍材料后，一般采用快速冷卻方法來冷卻金屬薄片，即用水冷板直接對金屬薄片進行冷卻。在申請號為CN201710201664.8，名稱為一種冷卻板和蒸鍍裝置中，便是使用冷卻板的多個冷卻管路來冷卻物體。但這樣容易讓金屬薄片發生破碎，并讓金屬薄片的韌性和可塑性會變差。如果經常使用后金屬薄片表面會出現不平整情況，這樣使得蒸鍍到金屬面上的有機材料薄膜不均勻，等到在蒸發源蒸鍍腔中進行蒸鍍成膜時，金屬薄片上的有機薄膜均勻性達不到標準。

發明內容

為此，需要提供一種用于面蒸發源的冷卻緩存室及驅動方法，解決冷卻金屬薄片時，會讓金屬薄片發生破碎的問題。

為實現上述目的，本實施例提供了一種用于面蒸發源的冷卻緩存室，包括CDA系統、冷卻室、冷卻裝置和可伸縮夾持裝置；

所述CDA系統通過通入管道連接所述冷卻室，所述CDA系統用于通入壓縮氣體來對金屬薄片降溫；

所述冷卻室還設置有排出管道，所述排出管道用于排出CDA系統通入的壓縮氣體；

所述冷卻室設置有閥門，所述可伸縮夾持裝置和所述冷卻裝置設置在所述冷卻室中；

所述可伸縮夾持裝置用于夾取金屬薄片到冷卻裝置上；

所述冷卻裝置包括下冷卻板，所述下冷卻板用于承載金屬薄片并對其冷卻。

進一步地，還包括上冷卻板和升降機構；

所述上冷卻板和所述下冷卻板平行，所述上冷卻板和所述下冷卻板包括冷卻管道。

進一步地，所述冷卻管道包括第一管道和第二管道，所述第二管道中冷卻液的種類不同于所述第一管道中冷卻液的種類。

進一步地，所述第一管道中冷卻液為水。

進一步地，所述第一管道為多個，所述第二管道為多個：

所述第一管道和所述第二管道交替排布。

進一步地，還包括機械手臂；

所述機械手臂設置在所述冷卻室的一側，所述機械手臂用于將金屬薄片送入到冷卻室的閥門處。