[發明專利]探針卡

在審

• 申請號: 202011015794.0
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112611949A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 安范模;樸勝浩;邊圣鉉
• 申請（專利權）人: 普因特工程有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/073
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

1.一種探針卡，其特征在于，包含：

第1板；

第2板，結合到所述第1板的下部；

上部導引板，設置到所述第1板的上表面；以及

下部導引板，設置到所述第2板的下表面；且

所述上部導引板及所述下部導引板中的至少一者包含陽極氧化膜材質，

所述上部導引板及所述下部導引板的面積小于所述第1板及所述第2板的面積，因此所述第1板及所述第2板的表面露出。

2.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，

在設置在所述第1板的所述上表面的上部安裝區域設置有所述上部導引板，

在設置在所述第2板的所述下表面的下部安裝區域設置有所述下部導引板。

3.根據權利要求2所述的探針卡，其特征在于，

所述上部安裝區域在所述第1板的所述上表面形成為凹槽，

所述下部安裝區域在所述第2板的所述下表面構成為凹槽。

4.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，

包含設置在所述第1板的第1貫通孔、及與所述第1貫通孔對應地設置在所述第2板的第2貫通孔，

在所述第1貫通孔及所述第2貫通孔的內部定位有多個探針。

5.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，

包含補強板，所述補強板與所述上部導引板及所述下部導引板的至少一面結合。

6.根據權利要求5所述的探針卡，其特征在于，

所述補強板具備供多個探針定位的切割槽。

7.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，

所述第1板及所述第2板由金屬材質制成。

8.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，

所述第1板及所述第2板由陶瓷材質制成。

9.根據權利要求5所述的探針卡，其特征在于，

所述補強板由Si₃N₄材質制成。

10.根據權利要求5所述的探針卡，其特征在于，

所述補強板由陶瓷材質制成。

11.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，

所述上部導引板及所述下部導引板中的至少一者是由多個陽極氧化膜積層而成。

12.一種探針卡，其特征在于，包含：

第1板，具備第1貫通孔；

第2板，結合到所述第1板的下部，具備第2貫通孔；

上部導引板，設置到所述第1板的上表面，具備供探針插入的上部導孔；

下部導引板，設置到所述第2板的下表面，具備供所述探針插入的下部導孔；

上部補強板，設置到所述第1板與所述上部導引板之間，具備上部切割槽；以及

下部補強板，設置到所述第2板與所述下部導引板之間，具備下部切割槽；且

所述第1板及所述第2板位于所述上部導引板及所述上部補強板與所述下部導引板及所述下部補強板之間，支撐所述上部導引板及所述上部補強板與所述下部導引板及所述下部補強板，

所述上部導引板及所述上部補強板與所述下部導引板及所述下部補強板的面積小于所述第1板及所述第2板，因此所述第1板及所述第2板的表面露出。