[發明專利]一種電容器用金屬化薄膜及其制作方法

在審

• 申請號: 202011015481.5
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112103082A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 劉加彬
• 申請（專利權）人: 劉加彬
• 主分類號: H01G4/33
• 分類號: H01G4/33;C23C14/08;C23C14/20;C23C14/24
• 代理公司: 江門市博盈知識產權代理事務所(普通合伙) 44577
• 代理人: 何辦君

1.一種電容器用金屬化薄膜，包括基膜層，其特征在于：還包括覆蓋于所述基膜層上的鋁層、覆蓋于所述鋁層上的鋅層及覆蓋于所述鋅層上的AL₂O₃保護層。

2.根據權利要求1所述的電容器用金屬化薄膜，其特征在于：所述鋁層的重量為所述鋁層及鋅層總重量的1％～5％。

3.根據權利要求1所述的電容器用金屬化薄膜，其特征在于：所述鋅層的重量為所述鋁層及鋅層總重量的95％～99％。

4.一種電容器用金屬化薄膜的制作方法，其特征在于：在真空條件下，先在基膜層上蒸鍍一層鋁做打底金屬，形成鋁層；然后在鋁層上再蒸鍍一層鋅，形成鋅層；最后在鋅層上再蒸鍍一層AL₂O₃保護層。

5.根據權利要求4所述的電容器用金屬化薄膜的制作方法，其特征在于：所述鋁層的蒸鍍使用鋁蒸發源，鋁蒸發源采用了氮化硼蒸發舟，將8根或10根鋁絲通過送絲機構送到鋁舟上熔化，在真空條件下加熱到1000℃～1200℃，鋁蒸汽鍍到基膜上。

6.根據權利要求4所述的電容器用金屬化薄膜的制作方法，其特征在于：所述鋅層的蒸鍍使用鋅蒸發源，鋅蒸發源的鋅料放在鐵槽內，用鋅爐加熱至600℃～700℃，鋅蒸汽通過鋅噴嘴，鍍到鋁層上。

7.根據權利要求4所述的電容器用金屬化薄膜的制作方法，其特征在于：所述AL₂O₃保護層的蒸鍍使用鋁蒸發源，鋁蒸發源采用了氮化硼蒸發舟，將8根或10根鋁絲通過送絲機構送到鋁舟上熔化，在真空條件下加熱到1000℃～1200℃，在蒸發源上方設置有噴氧氣機構，鋁蒸汽與噴出來的氧氣反應形成AL₂O₃蒸汽鍍到所述鋅層上。