[發明專利]一種微細工具電極在線制備方法及制備系統

在審

• 申請號: 202011015124.9
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN111992831A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 佟浩;蔡磊明;楊子豪;李勇;李寶泉
• 申請（專利權）人: 清華大學無錫應用技術研究院;無錫微研精微機械技術有限公司
• 主分類號: B23H9/00
• 分類號: B23H9/00;B23H9/02
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

1.一種微細工具電極制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟一粗修過程：通過一次對刀，主軸模塊(2)以水平等分角度沿z軸方向伺服進給且主軸無旋轉運動，獲得棱狀粗修毛坯；

步驟二半精修過程：通過一次對刀，主軸模塊(2)沿z軸方向伺服進給且主軸連續旋轉運動，獲得圓柱狀半精修電極；

步驟三精修過程：通過一次對刀，主軸模塊(2)沿z軸方向單向進給且主軸連續旋轉運動，獲得圓柱精修微細工具電極。

2.如權利要求1所述的微細工具電極制備方法，其特征在于：步驟一粗修過程中，主軸模塊(2)以水平等分角度伺服進給的具體步驟為：WEDG模塊(1)沿x軸正向移動，通過電接觸測得待修工具電極的待修表面切點的x軸讀數，附加移動進給量S₁；主軸模塊(2)沿z軸逐漸下移，直至待修工具電極與修絲電極(102)相接觸；控制主軸模塊(2)沿z軸方向伺服進給且主軸無旋轉運動，伺服進給至設定的加工長度；控制WEDG模塊(1)沿x軸負向移動至預留出對刀安全距離；主軸模塊(2)沿z軸正向上抬至待修位置，主軸轉過水平等分角度θ；然后重復上述過程，直到待修工具電極圓周一圈都有去除材料。

3.如權利要求1所述的微細工具電極制備方法，其特征在于：步驟二半精修過程中，主軸模塊(2)沿z軸方向連續旋轉伺服進給的具體步驟為：WEDG模塊(1)沿x軸正向移動，通過電接觸測得待修工具電極的待修表面切點的x軸讀數，附加移動進給量S₂；主軸模塊(2)沿z軸逐漸下移，直至待修工具電極與修絲電極(102)相接觸；主軸模塊(2)沿z軸伺服進給且主軸連續旋轉運動主軸，伺服進給直至設定的加工長度；WEDG模塊(1)沿x軸負向移動至預留出對刀安全距離；主軸模塊(2)沿z軸向上移動至待修位置。

4.如權利要求1所述的微細工具電極制備方法，其特征在于：步驟三精修過程中，主軸模塊(2)沿z軸方向連續旋轉單向進給的具體步驟為：WEDG模塊(1)沿x軸正向移動，通過電接觸測得待修工具電極的待修表面切點的x軸讀數，附加移動進給量S₃；主軸模塊(2)沿z軸逐漸下移，直至待修工具電極與修絲電極(102)相接觸；主軸模塊(2)沿z軸持續向下進給且主軸連續旋轉運動，進給直至設定的加工長度；WEDG模塊(1)沿x軸負向移動至預留出對刀安全距離；主軸模塊(2)沿z軸向上移動至待修位置。