[發明專利]有機發光顯示基板的制法

有效

• 申請號: 202011014409.0
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN112164766B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 王一佳;張明
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 黃舒悅

一種有機發光顯示基板的制法，包含以下步驟：提供襯底，所述襯底上定義有顯示區、屏下器件區及位于顯示區與所述屏下器件區間的阻隔區，及依序設置有第一無機層及第二無機層；施行第一蝕刻工藝，于所述隔離區內的所述第二無機層及所述第一無機層內分別形成第一開口與第二開口；施行第二蝕刻工藝，部分移除為所述第二開口所露出的第一無機層，將所述第二開口擴張成第三開口；形成擋墻于所述第三開口內，并將所述第三開口定義出靠近所述顯示區的第一子開口及遠離所述顯示區的第二子開口；形成有機發光層于所述第二無機層、所述第一無機層、及所述擋墻上；形成有機層，填滿靠近所述第一子開口；及形成第三無機層，覆蓋所述有機層及所述有機發光層。

技術領域

本揭示涉及顯示設備技術領域，尤其涉及有機發光顯示基板的制法。

背景技術

近年來有機發光二極管有機發光顯示基板(Organic Light Emitting Display，OLED)已逐漸成為屏幕的首選，其具有自發光、發光效率高、響應時間短、清晰度與對比度高等諸多優點，同時還可以保證屏幕具有一定柔性與可適應性。

隨著當前對大屏占比的需求日益增長，全面屏、窄邊框已經成為當前設計主流，因此需在屏幕的顯示區設置開孔以將攝像頭、傳感器等器件內置其中。但由于開孔的設置，容易使得空氣中的水氧接觸顯示區內發光層的有機材料并順著暴露的發光層擴散進入顯示區內，進而造成像素的顯示問題并影響了有機發光顯示基板的良率和品質。

發明內容

為了解決上述技術問題，本揭示提供了一種有機發光顯示基板的制法，以改善鄰近屏下器件區設置的顯示區的封裝表現，從而確保鄰近屏下器件區設置的顯示區內像素的顯示表現，進而改善有機發光顯示基板的良率和顯示品質。

于部份實施例中，本揭示提供的有機發光二極體有機發光顯示基板的制法包含以下步驟：

提供襯底，所述襯底上定義有顯示區、屏下器件區及位于顯示區與所述屏下器件區間的阻隔區，及依序設置有第一無機層及第二無機層；

施行第一蝕刻工藝，于所述隔離區內的所述第二無機層及所述第一無機層內分別形成第一開口與第二開口；

施行第二蝕刻工藝，部分移除為所述第二開口所露出的第一無機層，將所述第二開口擴張成第三開口；

形成擋墻于所述第三開口內，并將所述第三開口定義出靠近所述顯示區的第一子開口及遠離所述顯示區的第二子開口；

形成有機發光層于所述第二無機層、所述第一無機層、及所述擋墻上；

形成有機層，填滿靠近所述第一子開口；及

形成第三無機層，覆蓋所述有機層及所述有機發光層。

于部份實施例中，本揭示的有機發光二極體有機發光顯示基板的制法中，所述第二蝕刻工藝為濕刻，而所述第三開口為倒梯形開口。

于部份實施例中，本揭示的有機發光二極體有機發光顯示基板的制法中，所述有機發光層于所述第一開口內及所述第三開口內為不連續膜層且為所述有機層所分隔。

于部份實施例中，本揭示的有機發光二極體有機發光顯示基板的制法中所述第二蝕刻工藝為乾刻，而所述第三開口的形狀相似于所述第一開口的形狀。

于部份實施例中，本揭示的有機發光二極體有機發光顯示基板的制法中所述有機發光層于所述第一開口及所述第三開口內為連續膜層。

于部份實施例中，本揭示的有機發光二極體有機發光顯示基板的制法中所述第一無機層與所述第二無機層的材料為氧化硅或氮化硅，且所述第一無機層與所述第二無機層包含不同材料。

于部份實施例中，本揭示的有機發光二極體有機發光顯示基板的制法中所述第三無機層的材料包括氮化硅、氮氧化硅、氧化硅、碳氮化硅、氧化鋁或氧化鈦。