[發明專利]等離子清洗機

在審

• 申請號: 202011013982.X
• 申請日: 2020-09-23
• 公開（公告）號: CN112222107A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 朱霆;葉賢斌;李文強;楊建新;張凱
• 申請（專利權）人: 深圳泰德半導體裝備有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 深圳市恒程創新知識產權代理有限公司 44542
• 代理人: 劉冰

本發明提出一種等離子清洗機。所述等離子清洗機包括清洗機本體、安裝件、夾持治具及調節裝置。其中，所述清洗機本體包括控制器；所述安裝件安裝于所述清洗機本體上；所述夾持治具安裝于所述安裝件上，所述夾持治具具有夾槽，所述夾槽的寬度可調；所述調節裝置安裝于所述夾持治具的一側，所述調節裝置與所述控制器電連接，所述調節裝置用于調節所述夾槽的寬度。本發明的等離子清洗機，能夠提高夾持治具的兼容性，以提高等離子清洗機的適用性。

技術領域

本發明涉及清洗技術領域，特別涉及一種等離子清洗機。

背景技術

等離子清洗機是利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。現有等離子清洗機的夾持治具通常為固定結構，只能兼容常規尺寸的基板，不能自動兼容新型尺寸的基板，如果需要兼容新尺寸的基板則需要人工使用扳手將夾持治具更換成另外一個新尺寸的治具，夾持治具的兼容性較低。

因此，有必要提出一種等離子清洗機，以解決上述問題。

發明內容

本發明的主要目的是提出一種等離子清洗機，旨在提高夾持治具的兼容性，以提高等離子清洗機的適用性。

為實現上述目的，本發明提出一種等離子清洗機，所述等離子清洗機包括清洗機本體、安裝件、夾持治具及調節裝置。其中，所述清洗機本體包括控制器；所述安裝件安裝于所述清洗機本體上；所述夾持治具安裝于所述安裝件上，所述夾持治具具有夾槽，所述夾槽的寬度可調；所述調節裝置安裝于所述夾持治具的一側，所述調節裝置與所述控制器電連接，所述調節裝置用于調節所述夾槽的寬度。

可選地，所述夾持治具包括固定部和活動部，所述固定部固定安裝于所述安裝件上，所述活動部與所述固定部活動連接，所述固定部和所述活動部之間配合形成所述夾槽，所述調節裝置驅動所述活動部沿所述固定部移動以調節所述夾槽的寬度。

可選地，所述固定部包括固定框和固定桿，所述固定桿安裝于所述固定框的一側；所述活動部包括活動框和活動桿，所述活動桿安裝于所述活動框的一側并與所述固定桿安裝于所述固定框的一側相同，所述固定桿與所述活動桿之間形成所述夾槽，所述活動框可活動地安裝于所述固定框內，以使得所述夾槽的寬度可調。

可選地，所述固定框包括相對設置的兩個固定邊框，所述固定桿的兩端分別固定安裝于兩個所述固定邊框上，兩個所述固定邊框之間構造形成有插槽，所述插槽沿所述固定邊框的長度方向延伸，所述插槽與所述活動框對應設置，所述活動框可移動地安裝于所述插槽內。

可選地，所述夾持治具還包括定位件，所述固定框的其中之一的所述固定邊框上構造形成有定位孔，所述定位件穿過所述定位孔與所述活動框抵持。

可選地，所述夾持治具還包括感應片，所述清洗機本體上設有與所述感應片對應的感應器，所述感應器與所述控制器電連接，所述感應器能感應所述感應片的位置，以檢測所述夾槽寬度的變化。

可選地，所述固定桿的數量有多個，所述活動桿的數量與所述固定桿的數量相同也有多個，多個所述固定桿與多個所述活動桿依次間隔設置，以形成有多個所述夾槽。

可選地，所述調節裝置包括治具調節件、水平位移機構和升降機構，所述治具調節件安裝于所述水平位移機構上，所述水平位移機構安裝于所述升降機構上，所述治具調節件設于所述安裝件的下方，所述安裝件呈鏤空設置，所述水平位移機構和所述升降機構分別與所述控制器電連接，以使得所述治具調節件能穿過所述安裝件而調節所述夾槽的寬度。

可選地，所述水平位移機構包括第一直線模組、水平移動件和第一拖鏈組件，所述治具調節件安裝于所述第一直線模組上，所述第一直線模組安裝于所述水平移動件上，所述第一拖鏈組件與所述水平移動件連接，所述第一直線模組與所述第一拖鏈組件的移動方向相同，所述第一直線模組和所述第一拖鏈組件共同驅動所述治具調節件沿水平方向移動。